1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
  5. Выпуск 2015 г. Том 8. № 3

Development and Applications of MEMS Components
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (L 62)
Библиографическое описание: Levitskiy, A. A. Development and Applications of MEMS Components = Разработка и применение компонентов МЭМС / A. A. Levitskiy, P. S. Marinushkin. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2015. - Т. 8, № 3. - С. 290-296 : рис. - Библиогр.: с. 296. - ISSN 1999-494X.
Аннотация: Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур. Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС.
Год издания: 2015
Авторы: Levitskiy A. A. , Marinushkin P. S.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
Выпуск: Т. 8, № 3
Номера страниц: 290-296
Количество экземпляров:

Всего свободно 7 из 7 экземпляров.

  • Читальный зал Б307 (пр. Свободный, 79, к. Б3-07): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Отдел формирования информационно-библиотечных ресурсов (пр. Свободный, 79, к. Б2-20): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 2 из 2 экземпляров
  • Читальный зал военных наук (Академгородок, 13а, 1 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Информационно-библиографический отдел (ул. Л. Прушинской, 2, к. 3-06): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Regional Scientific and Technical Organization’s Role in the Telecommunication Complex…

  • Turov A. V.
  • 2014 год

Review on ADPCM System and its Applications: US Patents from 2024 to 2025

  • Muhanned AL-Rawi
  • 2025 год

Prospects and development of research of composite elastomer materials

  • Якубов Б. Б. и др.
  • 2021 год

Development and Research of the Innovative Production Technology of Multifunctional Invar Alloys…

  • Chukin M. V. и др.
  • 2016 год

Development of Wear-Resistant Parts of High-Manganese Modified 110G13L Brand Steel

  • Chorshanbiev Shukhrat M. и др.
  • 2024 год

The Rationale for the Method of Calculating the Angles of Arrival of Short Radio Waves Taking…

  • Agaryshev Anatoly и др.
  • 2019 год

Experimental and Numerical Simulation Frequency Characteristics of L-Shaped Waveguide-Slot…

  • Kopylova N. A. и др.
  • 2018 год

Application of Biological Substances to Increase the Strength of Materials and Structures

  • Turakhujaeva Shirinkhon N. и др.
  • 2024 год

Показать ещё