1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
  5. Выпуск 2015 г. Том 8. № 3

Development and Applications of MEMS Components
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (L 62)
Библиографическое описание: Levitskiy, A. A. Development and Applications of MEMS Components = Разработка и применение компонентов МЭМС / A. A. Levitskiy, P. S. Marinushkin. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2015. - Т. 8, № 3. - С. 290-296 : рис. - Библиогр.: с. 296. - ISSN 1999-494X.
Аннотация: Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур. Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС.
Год издания: 2015
Авторы: Levitskiy A. A. , Marinushkin P. S.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
Выпуск: Т. 8, № 3
Номера страниц: 290-296
Количество экземпляров:

Всего свободно 7 из 7 экземпляров.

  • Информационно-библиографический отдел (пр. Свободный, 79, к. Б3-09): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Отдел формирования информационно-библиотечных ресурсов (пр. Свободный, 79, к. Б2-20): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж, холл): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 2 из 2 экземпляров
  • Читальный зал военных наук (Академгородок, 13А, к. 1-01): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Информационно-библиографический отдел (ул. Лиды Прушинской, 2, к. 3-06): свободно 1 из 1 экземпляров