1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
  5. Выпуск 2013 г. Том 6. № 6

Взаимодействие газовой фазы с расплавом в процессе выращивания монокристаллов германия
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (В 406)
Библиографическое описание: Взаимодействие газовой фазы с расплавом в процессе выращивания монокристаллов германия / О. И. Подкопаев [и др.]. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2013. - Т. 6, № 6. - С. 674-679 : рис., формулы. - Библиогр.: с. 678-679. - ISSN 1999-494X.
Аннотация: Проведен термодинамический анализ взаимодействия газовой фазы с расплавом в ходе выращивания монокристаллов германия. Рассмотрены процессы роста кристаллов в среде инертного газа и кристаллизации Ge в среде водорода. Установлена взаимосвязь концентрации кислорода в слитках полупроводникового германия с парциальным давлением кислорода в инертном газе и парциальным давлением водяного пара в водороде. Предложена термодинамическая модель взаимодействия кислорода и влаги в газовой среде с расплавом германия.
Год издания: 2013
Авторы: Подкопаев О. И. , Кулаковская Т. В. , Шиманский А. Ф. , Погодаев А. М. , Васильева М. Н.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
Выпуск: Т. 6, № 6
Номера страниц: 674-679
Количество экземпляров:

Всего свободно 6 из 6 экземпляров.

  • Информационно-библиографический отдел (пр. Свободный, 79, к. Б3-09): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Отдел формирования информационно-библиотечных ресурсов (пр. Свободный, 79, к. Б2-20): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Книгохранилище научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 2 из 2 экземпляров
  • ЭЧЗ.6вн: свободно 1 из 1 экземпляров