1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
  5. Выпуск 2011 г. Том 4. № 1

Развитие технологии получения и исследования пористого кремния
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Ю 207)
Библиографическое описание: Юзова, В. А. Развитие технологии получения и исследования пористого кремния = Development Technology of Creation and Research Porous Silicon / В. А. Юзова, А. А. Левицкий, П. А. Харлашин. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2011. - Т. 4, № 1. - С. 92-112. - Библиогр.: с. 108-111. - ISSN 1999-494X.
Аннотация: Работа представляет собой обзор исследований, проведенных в рамках Федеральной целевой программы «Интеграция науки и высшего образования России» студентами и аспирантами под совместным научным руководством преподавателей кафедры «Приборостроение и наноэлектроника» и сотрудников института физики СО РАН в области одного из актуальных технологических направлений микро- и наноэлектроники - развитии технологии получения пористого кремния. Цель данных исследований состоит в разработке кремниевых материалов и структур, обладающих новыми стабильными свойствами, которые в ближайшем будущем позволят значительно расширить диапазон параметров существующих устройств современной микроэлектроники и будут способствовать созданию оригинальных приборов.
Год издания: 2011
Авторы: Юзова В. А. , Левицкий А. А. , Харлашин П. А.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
Выпуск: Т. 4, № 1
Номера страниц: 92-112
Количество экземпляров:

Всего свободно 4 из 4 экземпляров.

  • Читальный зал Б307 (пр. Свободный, 79, к. Б3-07): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 2 из 2 экземпляров
  • Читальный зал военных наук (Академгородок, 13а, 1 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Разработка пористых структур на кремнии

  • Сакун Е. А. и др.
  • 2010 год

Разработка технологии формирования многокомпонентных приборных композиций на основе пористого…

  • Зубко Е. И. и др.
  • 2013 год

Исследование шлаков пирометаллургии кремния

  • Немчинова Н. В. и др.
  • 2015 год

Модифицирование spray-метода для получения пленок однослойных углеродных нанотрубок и их свойства

  • Воронин А. С. и др.
  • 2015 год
Формирование пористыхструктур на кремнии Семенова О. В.Юзова В. А.Меркушев Ф. Ф.2015 год

Формирование пористых структур на кремнии

  • Семенова О. В. и др.
  • 2015 год
Формирование пористыхструктур на кремнии Меркушев Ф. Ф.Раилко М. Ю.Семенова О. В.2014 год

Формирование пористых структур на кремнии

  • Меркушев Ф. Ф. и др.
  • 2014 год

Development and Applications of MEMS Components

  • Levitskiy A. A. и др.
  • 2015 год

Получение и исследование кремниевых наноструктур

  • Юзова В. А. и др.
  • 2003 год

Показать ещё

Исследование влияния технологии получения ПКМ на основе политетрафторэтилена на механизм их…

  • Маркова М. А. и др.
  • 2024 год
Особенностипримененияжидкостного травлениякремния в технологииизготовленияМЭМС-структур Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Особенности применения жидкостного травления кремния в технологии изготовления МЭМС-структур

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год

Влияние свойств пористых подложек на устойчивость биокомпозитных удобрений к вымыванию калия и…

  • Веприкова Е. В. и др.
  • 2017 год
Синтез и свойствапористогостеклокомпозита,модифицированногокарбидом кремния Семенова В. И.Кутугин В. А.Казьмина О. В.2020 год

Синтез и свойства пористого стеклокомпозита, модифицированного карбидом кремния

  • Семенова В. И. и др.
  • 2020 год

Diagnostics of Escherichia coli Using Fabry-Perot Interference in Silicon Nanostructures of…

  • Wang Mengyuan и др.
  • 2024 год

Получение углеродных сорбентов химической модификацией ископаемых углей и растительной биомассы

  • Чесноков Н. В. и др.
  • 2014 год

Свойства пористых углеродных материалов, полученных термохимической активацией гидроуглей из…

  • Кузнецов Б. Н. и др.
  • 2025 год

Получение осадков и пленок диоксида циркония из уротропиновой системы

  • Туленин С. С. и др.
  • 2026 год