1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
  5. Выпуск 2011 г. Том 4. № 1
Развитие технологииполучения иисследованияпористого кремния Юзова В. А.Левицкий А. А.Харлашин П. А.2011 год

Развитие технологии получения и исследования пористого кремния
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Ю 207)
Библиографическое описание: Юзова, В. А. Развитие технологии получения и исследования пористого кремния = Development Technology of Creation and Research Porous Silicon / В. А. Юзова, А. А. Левицкий, П. А. Харлашин. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2011. - Т. 4, № 1. - С. 92-112. - Библиогр.: с. 108-111. - ISSN 1999-494X.
Аннотация: Работа представляет собой обзор исследований, проведенных в рамках Федеральной целевой программы «Интеграция науки и высшего образования России» студентами и аспирантами под совместным научным руководством преподавателей кафедры «Приборостроение и наноэлектроника» и сотрудников института физики СО РАН в области одного из актуальных технологических направлений микро- и наноэлектроники - развитии технологии получения пористого кремния. Цель данных исследований состоит в разработке кремниевых материалов и структур, обладающих новыми стабильными свойствами, которые в ближайшем будущем позволят значительно расширить диапазон параметров существующих устройств современной микроэлектроники и будут способствовать созданию оригинальных приборов.
Год издания: 2011
Авторы: Юзова В. А. , Левицкий А. А. , Харлашин П. А.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
Выпуск: Т. 4, № 1
Номера страниц: 92-112
Количество экземпляров:

Всего свободно 4 из 4 экземпляров.

  • Отдел научно-библиографической работы (пр. Свободный, 79, к. Б3-10): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Книгохранилище научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж): свободно 2 из 2 экземпляров
  • Читальный зал военных наук (Академгородок, 13А, к. 1-01): свободно 1 из 1 экземпляров