1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Математика и физика
  5. Выпуск 2010 г. Том 3. № 1

Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (М 744)
Библиографическое описание: Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD = Ellipsometer Mounting System Design Using CAD / А. В. Ефремов, С. Г. Овчинников, С. Н. Варнаков, Н. Н. Косырев. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Математика и физика. - 2010. - Т. 3, № 1. - С. 118-124. - Библиогр.: с. 123 (7 назв.). - ISSN 1997-1397.
Аннотация: Рассматривается задача автоматизированного проектирования системы крепления плеч эллипсометра, являющегося частью установки молекулярно-лучевой эпитаксии с магнитооптическим эллипсометрическим комплексом. Показана возможность проектирования, управляемого заданными ограничивающими условиями. При помощи системы автоматизированного проектирования с использованием математического моделирования была найдена оптимальная форма крепления плеч эллипсометра. Было определено ускорение, возникающее при типичных перегрузках камеры, при этом максимальное отклонение луча на приемнике анализатора не превышало допустимого для проведения измерений отклонения.
Год издания: 2010
Авторы: Ефремов А. В. , Овчинников С. Г. , Варнаков С. Н. , Косырев Н. Н.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Математика и физика
Выпуск: Т. 3, № 1
Номера страниц: 118-124
Количество экземпляров:

Всего свободно 3 из 3 экземпляров.

  • Читальный зал Б307 (пр. Свободный, 79, к. Б3-07): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Читальный зал военных наук (Академгородок, 13а, 1 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Моделирование кристаллической структуры комплексных соединений платиновых металлов с помощью…

  • Залога А. Н. и др.
  • 2016 год

Reduction of Boron Oxide on Polycrystalline Al and Sm Substrates

  • Akashev Lev и др.
  • 2026 год

Modelling of a Sandwich Plate Cross-section with Different Moduli of the Material under…

  • Petrakov Igor
  • 2025 год

Mathematical Modeling of Three-dimensional Stress-strain State of Homogeneous and Composite…

  • Gorynin Arseniy и др.
  • 2024 год

Physically Nonlinear Deformation of the Shell Using a Three-field FEM

  • Klochkov Mikhail и др.
  • 2025 год

Magnetization of Two-dimensional Layered HTSCs with Defects

  • Moroz Anna и др.
  • 2018 год

Миниатюрный полосно-пропускающий СВЧ - фильтр со сверхглубоким уровнем подавления в широкой…

  • Савишников М. О. и др.
  • 2019 год

Current State and Development of the Theory of Curing High-Energy Composite Polymer Materials

  • Chekhonin Konstantin
  • 2024 год

Показать ещё