1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Математика и физика
  5. Выпуск 2010 г. Том 3. № 1

Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (М 744)
Библиографическое описание: Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD = Ellipsometer Mounting System Design Using CAD / А. В. Ефремов, С. Г. Овчинников, С. Н. Варнаков, Н. Н. Косырев. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Математика и физика. - 2010. - Т. 3, № 1. - С. 118-124. - Библиогр.: с. 123 (7 назв.). - ISSN 1997-1397.
Аннотация: Рассматривается задача автоматизированного проектирования системы крепления плеч эллипсометра, являющегося частью установки молекулярно-лучевой эпитаксии с магнитооптическим эллипсометрическим комплексом. Показана возможность проектирования, управляемого заданными ограничивающими условиями. При помощи системы автоматизированного проектирования с использованием математического моделирования была найдена оптимальная форма крепления плеч эллипсометра. Было определено ускорение, возникающее при типичных перегрузках камеры, при этом максимальное отклонение луча на приемнике анализатора не превышало допустимого для проведения измерений отклонения.
Год издания: 2010
Авторы: Ефремов А. В. , Овчинников С. Г. , Варнаков С. Н. , Косырев Н. Н.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Математика и физика
Выпуск: Т. 3, № 1
Номера страниц: 118-124
Количество экземпляров:

Всего свободно 3 из 3 экземпляров.

  • Информационно-библиографический отдел (пр. Свободный, 79, к. Б3-09): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж, холл): свободно 1 из 1 экземпляров
  • ЭЧЗ.6вн: свободно 1 из 1 экземпляров