Библиографическое описание:Янушкин, В. Н. Прецизионные фотоэлектрические преобразователи перемещения в нанометрии / В. Н. Янушкин, Ю. Б. Коляда. - (Линейные и угловые измерения). - Текст : непосредственный // Измерительная техника. - 2014. - № 8. - С. 16-18 : ил. - Библиогр.: с. 18 (8 назв.). - Аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 0368-1025.
Аннотация:Рассмотрена возможность использования в нанометрии разработанного цифрового фотоэлектрического интерферометра для измерений малых перемещений. Проанализирован частный случай использования интерферометра, имеющего достаточные показатели по точности, надежности, функциональности и высокий индекс интерполяции для цифровой фиксации перемещений в нанометровом диапазоне.
