Повышениеэффективности работымолекулярной ступенимолекулярноговакуумного насоса Чернышев О. Р.Фомин М. В.Плишкин А. И.2016 год

Повышение эффективности работы молекулярной ступени молекулярного вакуумного насоса
статья из журнала