1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Справочник. Инженерный журнал
  5. Выпуск 2016 г. № 5
Новые разделы вклассификации методовнанесения тонкихпленок в вакууме Панфилов Ю. В.2016 год

Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Панфилов, Ю. В. Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме / Ю. В. Панфилов. - (Современные технологии). - Текст : непосредственный // Справочник. Инженерный журнал. - 2016. - № 5. - С. 6-15. - Библиогр.: с. 15 (9 назв. ).
Аннотация: В классификацию методов нанесения тонких пленок в вакууме внесены новые разделы, которые отражают современный уровень развития технологии нанесения тонкопленочных покрытий в машиностроении, электронике, наноиндустрии и в других областях науки и техники. Представлены современные методы физического и химического нанесения тонких пленок в вакууме, такие как пароструйное осаждение, атомнослоевое осаждение, а также ряд методов, базирующихся на воздействии лазерного излучения на твердое, жидкое или газообразное вещество. Показаны методы лазерно-индуцированного переноса пленок, дугового испарения с сепарацией плазменного потока, низкоскоростное и сверхзвуковое пароструйное и кластерное осаждение, ионно-кластерный метод, импульсное лазерное осаждение или лазерная абляция. Методы химического осаждения дополнены лазернохимическим осаждением из газовой фазы, химической лучевой эпитаксией, лазерным разложением металлоорганических соединений, локальным лазерным термоактивированным синтезом и лазерной импульсной молекулярнолучевой эпитаксией.
Год издания: 2016
Авторы: Панфилов Ю. В.
Источник: Справочник. Инженерный журнал
Выпуск: № 5
Номера страниц: 6-15
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Метод контролясостава тонких пленокна основе смесиполигидроксибутиратаи полиамида Ольхов А. А.Маркин В. С.Косенко Р. Ю.2016 год

Метод контроля состава тонких пленок на основе смеси полигидроксибутирата и полиамида

  • Ольхов А. А. и др.
  • 2016 год

Напыление тонких пленок испарением в вакууме

  • Ершов А. В. и др.
  • 2020 год

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок

  • Патрушева Т. Н. и др.
  • 2021 год
Свойства тонкихпленок сульфидоввольфрама и меди,полученных методоммагнетронногораспыления Ан В. В.Погребенков В. М.Захаров А. Н.2016 год

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления

  • Ан В. В. и др.
  • 2016 год
Регулированиестроениядиффузионного слоя вуглеродистых сталяхпри азотировании спредварительнымнанесением… Петрова Л. Г.Александров В. А.Малахов А. Ю.2017 год

Регулирование строения диффузионного слоя в углеродистых сталях при азотировании с…

  • Петрова Л. Г. и др.
  • 2017 год
Синтез тонких пленокна основе ZnO,допированных Ga, In,и определение ихсостава методамирентгеновской… Филатова Д. Г.Воробьева Н. А.Румянцева М. Н.2016 год

Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In, и определение их состава методами…

  • Филатова Д. Г. и др.
  • 2016 год

Вакуумные технологии. Нанесение оптических покрытий в вакууме

  • Новикова Ю. А. и др.
  • 2024 год
Новые требования ксвойствамперспективных маселдля автомобильныхдизельных ибензиновых двигателейи методам их… Золотов В. А.2022 год

Новые требования к свойствам перспективных масел для автомобильных дизельных и бензиновых…

  • Золотов В. А.
  • 2022 год

Показать ещё

Нанесениемногослойныхнаноструктурныхникелевых пленок накремниевуюповерхностьпиролитическимметодом Амелина Д. Е.Астахов М. В.Бутырина С. А.2017 год

Нанесение многослойных наноструктурных никелевых пленок на кремниевую поверхность пиролитическим…

  • Амелина Д. Е. и др.
  • 2017 год

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники

  • Васильев В. Ю.
  • 2021 год
Новые технологиинизкочастотнойвиброобработкиизделий вмашиностроении Григорьянц А. Г.Шиганов И. Н.Мисюров А. И.2014 год

Новые технологии низкочастотной виброобработки изделий в машиностроении

  • Григорьянц А. Г. и др.
  • 2014 год

Микро- и нанотехнологии

  • Патрушева Тамара Николаевна
  • 2013 год
Электрохимическоеполучение тонкихпленок Si в расплавахKF – KCl – KI –K[2]SiF[6] Исаков А. В.Чанг К.Джанг С.2017 год

Электрохимическое получение тонких пленок Si в расплавах KF – KCl – KI – K[2]SiF[6]

  • Исаков А. В. и др.
  • 2017 год

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники

  • Васильев В. Ю.
  • 2024 год
Влияние медногоподслоя на зарождениеалмазных кристалловна поверхностикарбида вольфрама Вохмянин Дмитрий Сергеевич2016 год

Влияние медного подслоя на зарождение алмазных кристаллов на поверхности карбида вольфрама

  • Вохмянин Дмитрий Сергеевич
  • 2016 год
Новые конструкцииэлектрических игидравлическихсваебойных молотов вмалоэтажномстроительстве Лугачев В. Г.Кулаков Г. И.2013 год

Новые конструкции электрических и гидравлических сваебойных молотов в малоэтажном строительстве

  • Лугачев В. Г. и др.
  • 2013 год