1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Справочник. Инженерный журнал
  5. Выпуск 2016 г. № 5
Новые разделы вклассификации методовнанесения тонкихпленок в вакууме Панфилов Ю. В.2016 год

Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Панфилов, Ю. В. Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме / Ю. В. Панфилов. - (Современные технологии). - Текст : непосредственный // Справочник. Инженерный журнал. - 2016. - № 5. - С. 6-15. - Библиогр.: с. 15 (9 назв. ).
Аннотация: В классификацию методов нанесения тонких пленок в вакууме внесены новые разделы, которые отражают современный уровень развития технологии нанесения тонкопленочных покрытий в машиностроении, электронике, наноиндустрии и в других областях науки и техники. Представлены современные методы физического и химического нанесения тонких пленок в вакууме, такие как пароструйное осаждение, атомнослоевое осаждение, а также ряд методов, базирующихся на воздействии лазерного излучения на твердое, жидкое или газообразное вещество. Показаны методы лазерно-индуцированного переноса пленок, дугового испарения с сепарацией плазменного потока, низкоскоростное и сверхзвуковое пароструйное и кластерное осаждение, ионно-кластерный метод, импульсное лазерное осаждение или лазерная абляция. Методы химического осаждения дополнены лазернохимическим осаждением из газовой фазы, химической лучевой эпитаксией, лазерным разложением металлоорганических соединений, локальным лазерным термоактивированным синтезом и лазерной импульсной молекулярнолучевой эпитаксией.
Год издания: 2016
Авторы: Панфилов Ю. В.
Источник: Справочник. Инженерный журнал
Выпуск: № 5
Номера страниц: 6-15
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж, холл): свободно 1 из 1 экземпляров