1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология»
  5. Выпуск 2020 г. Том 63. № 6
Plasma parameters andSiO[2] etchingkinetics in C[4]F[8]+ Ar + O[2] gasmixture Efremov A. M.Betelin V. B.Kwang-Ho Kwon2020 год

Plasma parameters and SiO[2] etching kinetics in C[4]F[8] + Ar + O[2] gas mixture
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (E 27)
Библиографическое описание: Efremov, A. M. Plasma parameters and SiO[2] etching kinetics in C[4]F[8] + Ar + O[2] gas mixture = Параметры плазмы и кинетика травления SiO[2] в смеси C[4]F[8] + Ar + O[2] / A. M. Efremov, V. B. Betelin, Kwang-Ho Kwon. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2020. - Т. 63, вып. 6. - С. 37-43 : 2 рис., 2 табл. - Библиогр.: с. 43 (24 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация: Проведено исследование влияния соотношения Ar/O[2] на параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления SiO[2] в трехкомпонентной смеси C[4]F[8]+Ar+O[2] в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления. (Алгоритм исследования сочетал измерения скоростей травления, диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерную модель плазмы для получения данных по стационарным концентрациям и плотностям потоков активных частиц).
Год издания: 2020
Авторы: Efremov A. M. , Betelin V. B. , Kwang-Ho Kwon
Источник: Известия вузов. Химия и химическая технология
Выпуск: Т. 63, вып. 6
Номера страниц: 37-43
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Plasma parameters,densities of activespecies and etchingkinetics inC[4]F[8]+Ar gasmixture Efremov A. M.Murin D. B.Kwon K. H.2019 год

Plasma parameters, densities of active species and etching kinetics in C[4]F[8]+Ar gas mixture

  • Efremov A. M. и др.
  • 2019 год
Plasma parameters andactive specieskinetics inCF[4]+C[4]F[8]+Ar gasmixture Efremov А. М.Мurin D. B.Kwang Ho Кwon2018 год

Plasma parameters and active species kinetics in CF[4]+C[4]F[8]+Ar gas mixture

  • Efremov А. М. и др.
  • 2018 год
Plasma parameters andcomposition inCF[4]/O[2]/Ar gasmixture Efremov A. M.Kwon Kwang-Ho2017 год

Plasma parameters and composition in CF[4]/O[2]/Ar gas mixture

  • Efremov A. M. и др.
  • 2017 год
Сравнительноеисследованиепараметров и составаплазмы в смесяхCF[4], CI[2] и HBr +Ar Ефремов Александр МихайловичKwon К. Н.Шабадарова Дария Александровна2016 год

Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], CI[2] и HBr + Ar

  • Ефремов Александр Михайлович и др.
  • 2016 год

Thermal Decomposition Kinetics of 2-R-2,2-dinitroethyl 2,4,6-trinitrobenzoates

  • Kruglyakova L. А. и др.
  • 2022 год
Кинетикавосстановления ионовтербия в эквимольномрасплаве хлоридовнатрия и калия Чернова Ольга ВладимировнаЖуковин Сергей Вадимович2020 год

Кинетика восстановления ионов тербия в эквимольном расплаве хлоридов натрия и калия

  • Чернова Ольга Владимировна и др.
  • 2020 год
Электронные параметры1,1,1-трифторалканов Котомкин Алексей ВикторовичОрлов Юрий ДмитриевичРусакова Наталья Петровна2019 год

Электронные параметры 1,1,1-трифторалканов

  • Котомкин Алексей Викторович и др.
  • 2019 год
Кинетикавосстановления ионовникеля диоксидомтиомочевины вводно-аммиачномрастворе Поленов Ю. В.Егорова Е. В.Макарова Е. В2013 год

Кинетика восстановления ионов никеля диоксидом тиомочевины в водно-аммиачном растворе

  • Поленов Ю. В. и др.
  • 2013 год

Показать ещё

О связи динамическойвязкости нафтеновыхуглеводородов рядациклопентана сквантовыми иструктурнымипараметрами Ковалева Элла АлександровнаДоломатов Михаил Юрьевич2020 год

О связи динамической вязкости нафтеновых углеводородов ряда циклопентана с квантовыми и…

  • Ковалева Элла Александровна и др.
  • 2020 год
Полимеризацияметилметакрилата вприсутствииинициирующих системна основе комплексовжелеза различногостроения Павловская Марина ВикентьевнаГришин Дмитрий Федорович2020 год

Полимеризация метилметакрилата в присутствии инициирующих систем на основе комплексов железа…

  • Павловская Марина Викентьевна и др.
  • 2020 год
Кинетическая модельпроцессавосстановления ионовникеля диоксидомтиомочевины вводно-аммиачномрастворе Макарова Е. В.Поленов Ю. В.Егорова Е. В.2015 год

Кинетическая модель процесса восстановления ионов никеля диоксидом тиомочевины в водно-аммиачном…

  • Макарова Е. В. и др.
  • 2015 год
Алмазные детекторы сконвертерами тепловыхнейтронов на основеимплантированного{6}Li Хмельницкий Р. А.Дравин В. А.Амосов В. Н.2015 год

Алмазные детекторы с конвертерами тепловых нейтронов на основе имплантированного {6}Li

  • Хмельницкий Р. А. и др.
  • 2015 год
Кинетикаокислительнойполимеризации анилинав водных растворахполиэтиленгликоля Межуев Я. О.Коршак Ю. В.Штильман М. И.2013 год

Кинетика окислительной полимеризации анилина в водных растворах полиэтиленгликоля

  • Межуев Я. О. и др.
  • 2013 год
Вероятностигетерогеннойрекомбинации атомов вплазме смесей HCI синертными имолекулярными газами Мурин Д. Б.Ефремов А. М.Светцов В. И.2013 год

Вероятности гетерогенной рекомбинации атомов в плазме смесей HCI с инертными и молекулярными газами

  • Мурин Д. Б. и др.
  • 2013 год
Влияние растворителяна устойчивостькоординационныхсоединений витаминовгруппы В Душина С. В.Шарнин В. А.2013 год

Влияние растворителя на устойчивость координационных соединений витаминов группы В

  • Душина С. В. и др.
  • 2013 год
Синтез итермохимическоемоделированиемеханизма реакцииполучения N-ацильныхпроизводных2-(2-оксопирролидин-1-ил)… Кодониди Иван ПанайотовичЧиряпкин Алексей СергеевичМорозов Андрей Владимирович2020 год

Синтез и термохимическое моделирование механизма реакции получения N-ацильных производных 2-(2…

  • Кодониди Иван Панайотович и др.
  • 2020 год