1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология»
  5. Выпуск 2019 г. Том 62. № 2
Plasma parameters,densities of activespecies and etchingkinetics inC[4]F[8]+Ar gasmixture Efremov A. M.Murin D. B.Kwon K. H.2019 год

Plasma parameters, densities of active species and etching kinetics in C[4]F[8]+Ar gas mixture
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (E 27)
Библиографическое описание: Efremov, A. M. Plasma parameters, densities of active species and etching kinetics in C[4]F[8]+Ar gas mixture = Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси С[4]F[8]+Ar / A. M. Efremov, D. B. Murin, K. H. Kwon. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2019. - Т. 62, вып. 2. - С. 31-37 : 4 рис. - Библиогр.: с. 36-37 (24 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация: В данной работе представлены результаты комбинированных (экспериментальных и модельных) исследований характеристик газовой фазы и кинетики травления Si и SiO[2] в плазме смеси C[4]F[8] + Ar. Эксперименты проводились при постоянном общем давлении смеси (p = 6 мтор), вкладываемой мощности (W = 900 Вт) и мощности смещения (Wdc = 200 Вт), при этом соотношение компонентов C[4]F[8]/Ar варьировалось в диапазоне 0-75% Ar.
Год издания: 2019
Авторы: Efremov A. M. , Murin D. B. , Kwon K. H.
Источник: Известия вузов. Химия и химическая технология
Выпуск: Т. 62, вып. 2
Номера страниц: 31-37
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Plasma parameters andSiO[2] etchingkinetics in C[4]F[8]+ Ar + O[2] gasmixture Efremov A. M.Betelin V. B.Kwang-Ho Kwon2020 год

Plasma parameters and SiO[2] etching kinetics in C[4]F[8] + Ar + O[2] gas mixture

  • Efremov A. M. и др.
  • 2020 год
Plasma parameters andactive specieskinetics inCF[4]+C[4]F[8]+Ar gasmixture Efremov А. М.Мurin D. B.Kwang Ho Кwon2018 год

Plasma parameters and active species kinetics in CF[4]+C[4]F[8]+Ar gas mixture

  • Efremov А. М. и др.
  • 2018 год
Сравнительноеисследованиепараметров и составаплазмы в смесяхCF[4], CI[2] и HBr +Ar Ефремов Александр МихайловичKwon К. Н.Шабадарова Дария Александровна2016 год

Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], CI[2] и HBr + Ar

  • Ефремов Александр Михайлович и др.
  • 2016 год
Oxidative-reducingprocesses withparticipation ofmanganese ionsinitiated by electricdischarge in aqueоussolution Shutov D. A.Sungurova A. V.Smirnova K. V.2018 год

Oxidative-reducing processes with participation of manganese ions initiated by electric discharge…

  • Shutov D. A. и др.
  • 2018 год
Кинетическиезакономерноститравленияполикарбоната вплазме кислорода ивоздуха Овцын Александр АндреевичАртюхов Алексей ИвановичСмирнов Сергей Александрович2016 год

Кинетические закономерности травления поликарбоната в плазме кислорода и воздуха

  • Овцын Александр Андреевич и др.
  • 2016 год
Кинетикавосстановления ионовтербия в эквимольномрасплаве хлоридовнатрия и калия Чернова Ольга ВладимировнаЖуковин Сергей Вадимович2020 год

Кинетика восстановления ионов тербия в эквимольном расплаве хлоридов натрия и калия

  • Чернова Ольга Владимировна и др.
  • 2020 год
Влияние гетерогенныхпроцессов напараметрыкислородсодержащейплазмы Смирнов С. А.Титов В. А.Рыбкин В. В.2012 год

Влияние гетерогенных процессов на параметры кислородсодержащей плазмы

  • Смирнов С. А. и др.
  • 2012 год
Кинетическая модельпроцессавосстановления ионовникеля диоксидомтиомочевины вводно-аммиачномрастворе Макарова Е. В.Поленов Ю. В.Егорова Е. В.2015 год

Кинетическая модель процесса восстановления ионов никеля диоксидом тиомочевины в водно-аммиачном…

  • Макарова Е. В. и др.
  • 2015 год

Показать ещё

Электрофизическиепараметры плазмысмесей HCI+Ar, He,H[2], O[2], и CI[2] Ефремов А. М.Мурин Д. Б.2015 год

Электрофизические параметры плазмы смесей HCI+Ar, He, H[2], O[2], и CI[2]

  • Ефремов А. М. и др.
  • 2015 год

Исследование наночастиц со структурой металлическое ядро - углеродная оболочка, образующихся при…

  • Осипова И. В. и др.
  • 2011 год
Кинетикавосстановления ионовникеля диоксидомтиомочевины вводно-аммиачномрастворе Поленов Ю. В.Егорова Е. В.Макарова Е. В2013 год

Кинетика восстановления ионов никеля диоксидом тиомочевины в водно-аммиачном растворе

  • Поленов Ю. В. и др.
  • 2013 год

Моделирование потоков ионов в процессе электролитического рафинирования

  • Митин К. В.
  • 2013 год
Кинетикаокислительнойполимеризации анилинав водных растворахполиэтиленгликоля Межуев Я. О.Коршак Ю. В.Штильман М. И.2013 год

Кинетика окислительной полимеризации анилина в водных растворах полиэтиленгликоля

  • Межуев Я. О. и др.
  • 2013 год
Исследование влиянияпродуктов травленияпленки полиэтилена напараметрынеравновесной плазмывоздуха Кадников Д. В.Смирнов С. А.Рыбкин В. В.2015 год

Исследование влияния продуктов травления пленки полиэтилена на параметры неравновесной плазмы…

  • Кадников Д. В. и др.
  • 2015 год
Процессы модификациии деструкцииарамидной пленки внеравновесной плазмекислорода и аргона Джбааи К. А.Шикова Т. Г.Титов В. А.2014 год

Процессы модификации и деструкции арамидной пленки в неравновесной плазме кислорода и аргона

  • Джбааи К. А. и др.
  • 2014 год
Активационныепараметрыодноэлектронногопереноса с молекулы2-метоксианилина(о-анизидина) напероксидисульфат-ион Межуев Я. О.Коршак Ю. В.Штильман М. И.2012 год

Активационные параметры одноэлектронного переноса с молекулы 2-метоксианилина (о-анизидина) на…

  • Межуев Я. О. и др.
  • 2012 год