Библиографическое описание:Efremov, А. М. Plasma parameters and active species kinetics in CF[4]+C[4]F[8]+Ar gas mixture = Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF[4]+C[4]F[8]+Ar / А. M. Efremov, D. B. Murin, K. H. Kwon. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2018. - Т. 61, вып. 4/5. - С. 31-36 : 2 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 36 (16 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:В данной работе обсуждаются взаимосвязи между начальным составом смеси CF[4]+C[4]F[8]+ Ar, характеристиками газовой фазы и кинетикой гетерогенных процессов в условиях плазмы индукционного разряда пониженного давления. Целью работы являлось исследование зависимостей внутренних параметров плазмы (температура электронов, концентрация электронов, энергия ионной бомбардировки) и кинетики активных частиц от соотношения компонентов CF[4]/C[4]F[8] в плазмообразующей смеси.
