1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология»
  5. Выпуск 2018 г. Том 61. № 4/5
Plasma parameters andactive specieskinetics inCF[4]+C[4]F[8]+Ar gasmixture Efremov А. М.Мurin D. B.Kwang Ho Кwon2018 год

Plasma parameters and active species kinetics in CF[4]+C[4]F[8]+Ar gas mixture
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (E 27)
Библиографическое описание: Efremov, А. М. Plasma parameters and active species kinetics in CF[4]+C[4]F[8]+Ar gas mixture = Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF[4]+C[4]F[8]+Ar / А. M. Efremov, D. B. Murin, K. H. Kwon. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2018. - Т. 61, вып. 4/5. - С. 31-36 : 2 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 36 (16 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация: В данной работе обсуждаются взаимосвязи между начальным составом смеси CF[4]+C[4]F[8]+ Ar, характеристиками газовой фазы и кинетикой гетерогенных процессов в условиях плазмы индукционного разряда пониженного давления. Целью работы являлось исследование зависимостей внутренних параметров плазмы (температура электронов, концентрация электронов, энергия ионной бомбардировки) и кинетики активных частиц от соотношения компонентов CF[4]/C[4]F[8] в плазмообразующей смеси.
Год издания: 2018
Авторы: Efremov А. М. , Мurin D. B. , Kwang Ho Кwon
Источник: Известия вузов. Химия и химическая технология
Выпуск: Т. 61, вып. 4/5
Номера страниц: 31-36
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Plasma parameters,densities of activespecies and etchingkinetics inC[4]F[8]+Ar gasmixture Efremov A. M.Murin D. B.Kwon K. H.2019 год

Plasma parameters, densities of active species and etching kinetics in C[4]F[8]+Ar gas mixture

  • Efremov A. M. и др.
  • 2019 год
Plasma parameters andSiO[2] etchingkinetics in C[4]F[8]+ Ar + O[2] gasmixture Efremov A. M.Betelin V. B.Kwang-Ho Kwon2020 год

Plasma parameters and SiO[2] etching kinetics in C[4]F[8] + Ar + O[2] gas mixture

  • Efremov A. M. и др.
  • 2020 год
Сравнительноеисследованиепараметров и составаплазмы в смесяхCF[4], CI[2] и HBr +Ar Ефремов Александр МихайловичKwon К. Н.Шабадарова Дария Александровна2016 год

Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], CI[2] и HBr + Ar

  • Ефремов Александр Михайлович и др.
  • 2016 год
Plasma parameters andcomposition inCF[4]/O[2]/Ar gasmixture Efremov A. M.Kwon Kwang-Ho2017 год

Plasma parameters and composition in CF[4]/O[2]/Ar gas mixture

  • Efremov A. M. и др.
  • 2017 год
Электрофизическиепараметры плазмысмесей HCI+Ar, He,H[2], O[2], и CI[2] Ефремов А. М.Мурин Д. Б.2015 год

Электрофизические параметры плазмы смесей HCI+Ar, He, H[2], O[2], и CI[2]

  • Ефремов А. М. и др.
  • 2015 год
Электрофизическиепараметры иконцентрациизаряженных частиц вплазме смесей метанас аргоном Ефремов А. М.Семенова О. А.Баринов С. М.2014 год

Электрофизические параметры и концентрации заряженных частиц в плазме смесей метана с аргоном

  • Ефремов А. М. и др.
  • 2014 год
Oxidative-reducingprocesses withparticipation ofmanganese ionsinitiated by electricdischarge in aqueоussolution Shutov D. A.Sungurova A. V.Smirnova K. V.2018 год

Oxidative-reducing processes with participation of manganese ions initiated by electric discharge…

  • Shutov D. A. и др.
  • 2018 год
Кинетикавосстановления ионовтербия в эквимольномрасплаве хлоридовнатрия и калия Чернова Ольга ВладимировнаЖуковин Сергей Вадимович2020 год

Кинетика восстановления ионов тербия в эквимольном расплаве хлоридов натрия и калия

  • Чернова Ольга Владимировна и др.
  • 2020 год

Показать ещё

Влияние процессовпереноса компонентовжидкого катода напроцессы ионизации вразряде постоянноготока атмосферного… Куленцан Антон ЛьвовичШутов Дмитрий АлександровичРыбкин Владимир Владимирович2017 год

Влияние процессов переноса компонентов жидкого катода на процессы ионизации в разряде постоянного…

  • Куленцан Антон Львович и др.
  • 2017 год
Hydrogen role inselectivity ofsubstitutednitro-azobeneneshydrogenization onskeletal nickel in2-propanol aqueous… Lefedova O. V.Hoang AnhFilippov D. V.2020 год

Hydrogen role in selectivity of substituted nitro-azobenenes hydrogenization on skeletal nickel…

  • Lefedova O. V. и др.
  • 2020 год
Кинетическая модельпроцессавосстановления ионовникеля диоксидомтиомочевины вводно-аммиачномрастворе Макарова Е. В.Поленов Ю. В.Егорова Е. В.2015 год

Кинетическая модель процесса восстановления ионов никеля диоксидом тиомочевины в водно-аммиачном…

  • Макарова Е. В. и др.
  • 2015 год
Кинетикагидрогенизации4-нитро-2'-гидрокси-5'-метилазобензола наскелетном никеле вводном растворе2-пропанола Хоанг АньКалашникова Вера АндреевнаЛефедова Ольга Валентиновна2018 год

Кинетика гидрогенизации 4-нитро-2'-гидрокси-5'-метилазобензола на скелетном никеле в водном…

  • Хоанг Ань и др.
  • 2018 год
Влияние добавокгидроксида натрия накинетикугидрогенизации4-нитро-2'-гидрокси-5'-метилазобензола наскелетном… Хоанг АньКалашникова Вера АндреевнаЛефедова Ольга Валентиновна2018 год

Влияние добавок гидроксида натрия на кинетику гидрогенизации 4-нитро-2'-гидрокси-5'…

  • Хоанг Ань и др.
  • 2018 год
Кинетическиезакономерноститравленияполикарбоната вплазме кислорода ивоздуха Овцын Александр АндреевичАртюхов Алексей ИвановичСмирнов Сергей Александрович2016 год

Кинетические закономерности травления поликарбоната в плазме кислорода и воздуха

  • Овцын Александр Андреевич и др.
  • 2016 год
Кинетикавосстановления ионовникеля диоксидомтиомочевины вводно-аммиачномрастворе Поленов Ю. В.Егорова Е. В.Макарова Е. В2013 год

Кинетика восстановления ионов никеля диоксидом тиомочевины в водно-аммиачном растворе

  • Поленов Ю. В. и др.
  • 2013 год

Моделирование потоков ионов в процессе электролитического рафинирования

  • Митин К. В.
  • 2013 год