Библиографическое описание:Создание развитой поверхности синтетических монокристаллов алмаза для повышения удельной мощности бета-вольтаических источников питания на их основе / А. В. Голованов [и др.]. - (Химическая технология). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2016. - Т. 59, вып. 9. - С. 86-91 : 4 рис., 2 табл. - Библиогр.: с. 91 (10 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:Исследован процесс реактивного ионного травления синтетического монокристалла алмаза с использованием толстых контактных защитных масок из оксида и нитрида алюминия с целью увеличения площади поверхности алмаза. Определены селективности оксида и нитрида алюминия к травлению.
