Свойства легированныхазотом аморфныхуглеродных покрытий,получаемых импульснымвакуумно-дуговымметодом Поплавский Александр ИосифовичКолпаков Александр ЯковлевичГалкина Марина Евгеньевна2016 год

Свойства легированных азотом аморфных углеродных покрытий, получаемых импульсным вакуумно-дуговым методом
статья из журнала