Библиографическое описание:Подавление синтеза алмаза на торцевой поверхности подложки в процессе газофазного осаждения / Д. В. Тетерук [и др.]. - (Химическая технология). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2016. - Т. 59, вып. 8. - С. 64-68 : 6 рис. - Библиогр.: с. 68 (8 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:В процессе газофазного осаждения алмаз растет на всех поверхностях подложки, в том числе и на торцевых. Однако, осаждение алмаза на торцевых поверхностях может быть нежелательным для некоторых процессов и технологий. Нами предложен и реализован метод подавления роста алмаза на торцевых поверхностях с помощью кремниевых колодцев. Определены оптимальные геометрические размеры колодцев.
