1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология»
  5. Выпуск 2016 г. Том 59. № 8
Подавление синтезаалмаза на торцевойповерхности подложкив процессегазофазного осаждения Тетерук Дмитрий ВладимировичБормашов Виталий СергеевичТарелкин Сергей Александрович2016 год

Подавление синтеза алмаза на торцевой поверхности подложки в процессе газофазного осаждения
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Подавление синтеза алмаза на торцевой поверхности подложки в процессе газофазного осаждения / Д. В. Тетерук [и др.]. - (Химическая технология). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2016. - Т. 59, вып. 8. - С. 64-68 : 6 рис. - Библиогр.: с. 68 (8 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация: В процессе газофазного осаждения алмаз растет на всех поверхностях подложки, в том числе и на торцевых. Однако, осаждение алмаза на торцевых поверхностях может быть нежелательным для некоторых процессов и технологий. Нами предложен и реализован метод подавления роста алмаза на торцевых поверхностях с помощью кремниевых колодцев. Определены оптимальные геометрические размеры колодцев.
Год издания: 2016
Авторы: Тетерук Дмитрий Владимирович , Бормашов Виталий Сергеевич , Тарелкин Сергей Александрович , Корнилов Николай Владимирович , Лупарев Николай Викторович , Кириченко Алексей Николаевич
Источник: Известия вузов. Химия и химическая технология
Выпуск: Т. 59, вып. 8
Номера страниц: 64-68
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Создание развитойповерхностисинтетическихмонокристаллов алмазадля повышенияудельной мощностибета-вольтаических… Голованов Антон ВладимировичБормашов Виталий СергеевичВолков Александр Павлович2016 год

Создание развитой поверхности синтетических монокристаллов алмаза для повышения удельной мощности…

  • Голованов Антон Владимирович и др.
  • 2016 год
Защита поверхностикремниевых подложекна основелегкоплавкого стекладля изготовлениякремниевыхтранзисторов Исмаилов Т. А.Саркаров Т. Э.Шангереева Б. А.2017 год

Защита поверхности кремниевых подложек на основе легкоплавкого стекла для изготовления кремниевых…

  • Исмаилов Т. А. и др.
  • 2017 год
Влияние активацииповерхностинаночастиц MoS[2] нахимическое осаждениена них никеля Эшвар СиддхартАравинд П.Дханапал П.2018 год

Влияние активации поверхности наночастиц MoS[2] на химическое осаждение на них никеля

  • Эшвар Сиддхарт и др.
  • 2018 год
Основные процессысинтеза углеродныхнанотрубок методомгазофазногохимического осаждения Рухов А. В.2013 год

Основные процессы синтеза углеродных нанотрубок методом газофазного химического осаждения

  • Рухов А. В.
  • 2013 год
Легирование алмаза,выращенного методомгазофазного осаждения Тетерук Д. В.Тарелкин С. А.Бормашов В. С.2014 год

Легирование алмаза, выращенного методом газофазного осаждения

  • Тетерук Д. В. и др.
  • 2014 год
Исследование рабочейповерхности материалана основе оловянистойбронзы, упрочненнойультрадисперснымипорошками… Сафонова М. Н.Федотов А. А.Сыромятникова А. С.2014 год

Исследование рабочей поверхности материала на основе оловянистой бронзы, упрочненной…

  • Сафонова М. Н. и др.
  • 2014 год
Влияниеэлектрического имагнитного состоянияподложки на осаждениеорганическихполимеров Муслимов А. Э.Дубова К. М.Каневский В. М.2019 год

Влияние электрического и магнитного состояния подложки на осаждение органических полимеров

  • Муслимов А. Э. и др.
  • 2019 год
Превращениемногослойного графенав алмазную пленку поддействием химическойфункционализации:теоретическоеизучение Антипина Л. Ю.Сорокина Т. П.Сорокин П. Б.2015 год

Превращение многослойного графена в алмазную пленку под действием химической функционализации

  • Антипина Л. Ю. и др.
  • 2015 год

Показать ещё

Влияние медногоподслоя на зарождениеалмазных кристалловна поверхностикарбида вольфрама Вохмянин Дмитрий Сергеевич2016 год

Влияние медного подслоя на зарождение алмазных кристаллов на поверхности карбида вольфрама

  • Вохмянин Дмитрий Сергеевич
  • 2016 год
Исследованиефизико-механическихсвойств гибридныхалмазно-твердосплавных пластин, спеченныхс использованием… Шульженко А. А.Ашкинази Е. Е.Стасюк Л. Ф.2015 год

Исследование физико-механических свойств гибридных алмазно-твердосплавных пластин, спеченных с…

  • Шульженко А. А. и др.
  • 2015 год
Селективный ростграфеноподобныхпленок надиэлектрическихподложках Седловец Дарья МихайловнаКнязев Максим Александрович2016 год

Селективный рост графеноподобных пленок на диэлектрических подложках

  • Седловец Дарья Михайловна и др.
  • 2016 год
Получение и свойствановыхнанокомпозиционныхуглеродных материалов Яфаров Равиль Кяшшафович2016 год

Получение и свойства новых нанокомпозиционных углеродных материалов

  • Яфаров Равиль Кяшшафович
  • 2016 год
Методикапроектированияаппаратурногооформленияпроизводствауглеродных нанотрубоки полупродуктов на ихоснове Рухов Артем ВикторовичТаров Дмитрий ВладимировичДьячкова Татьяна Петровна2019 год

Методика проектирования аппаратурного оформления производства углеродных нанотрубок и…

  • Рухов Артем Викторович и др.
  • 2019 год
Исследование процессананесения покрытия изпорошковой смеси Al +Al[2]O[3] методомхолодногогазодинамического… Нгуен КуангАлещенко А. С.Гусейнов Э. Р.2021 год

Исследование процесса нанесения покрытия из порошковой смеси Al + Al[2]O[3] методом холодного…

  • Нгуен Куанг и др.
  • 2021 год
Электронная структураи проводимостьуглеводородныхпленок, полученных вплазменных разрядахтокамака Т-10 Соколина Галина АнатольевнаАрхипов Игорь ИвановичСвечников Николай Юрьевич2018 год

Электронная структура и проводимость углеводородных пленок, полученных в плазменных разрядах…

  • Соколина Галина Анатольевна и др.
  • 2018 год

Исследование синтеза новых интерметаллических сплавов на подложке из белого высокохромистого чугуна

  • Крименецкий С. С. и др.
  • 2024 год