Библиографическое описание:Ефремов, Александр Михайлович. Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], CI[2] и HBr + Ar / А. М. Ефремов, К. Н. Kwon, Д. А. Шабадарова. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2016. - Т. 59, вып. 10. - С. 11-18 : 4 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 17-18 (34 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:Обсуждаются электрофизические параметры и химия плазмы в системах CF[4] + Ar, CI[2] + Ar и HBr + Ar при одинаковых условиях возбуждения разряда. Исследования проводились методами диагностики плазмы зондами Лангмюра и моделированием плазмы в условиях планарного индукционного плазмохимического реактора при постоянном давлении газа (10 мТор), вкладываемой мощности (800 Вт) и мощности смещения (300 Вт), но при варьируемой (0-80%) более Ar плазмообразующей смеси.
