Исследование влияния продуктов травления пленки полиэтилена на параметры неравновесной плазмы воздухастатья из журнала
Похожие публикации
Кинетические закономерности травления поликарбоната в плазме кислорода и воздуха
- Овцын Александр Андреевич и др.
- 2016 год
Влияние молекул воды на характеристики электронов в неравновесной плазме воздуха
- Коновалов А. С. и др.
- 2013 год
Влияние температуры на скорость травления и качество поверхности GaAs при обработке в плазме HCI…
- Дунаев А. В. и др.
- 2014 год
Процессы модификации и деструкции арамидной пленки в неравновесной плазме кислорода и аргона
- Джбааи К. А. и др.
- 2014 год
Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], CI[2] и HBr + Ar
- Ефремов Александр Михайлович и др.
- 2016 год
Заселенности нижних колебательных уровней N[2](X{1}Z[g]{+}) и их влияние на характеристики…
- Петров А. Е. и др.
- 2013 год
Электрофизические параметры плазмы смесей HCI+Ar, He, H[2], O[2], и CI[2]
- Ефремов А. М. и др.
- 2015 год
Кинетика и концентрация нейтральных частиц в плазме тлеющего разряда постоянного тока в метане
- Семенова О. А. и др.
- 2014 год
Электрофизические параметры и концентрации заряженных частиц в плазме смесей метана с аргоном
- Ефремов А. М. и др.
- 2014 год
Plasma parameters and SiO[2] etching kinetics in C[4]F[8] + Ar + O[2] gas mixture
- Efremov A. M. и др.
- 2020 год
Исследование влияния конструктивных параметров электростатического затвора на физические процессы…
- Минкин М. С. и др.
- 2013 год
Physico-chemical properties of dc current discharge plasma with liquid cathode
- Choukourov A. L. и др.
- 2016 год
Кинетика разложения фенола и образования продуктов его деструкции в растворе под действием…
- Бобкова Е. С. и др.
- 2014 год
Plasma parameters, densities of active species and etching kinetics in C[4]F[8]+Ar gas mixture
- Efremov A. M. и др.
- 2019 год
