Библиографическое описание:Дунаев, А. В. Взаимодействие плазмы смесей хлороводород-аргон, - хлор, - водород с арсенидом галлия / А. В. Дунаев, С. А. Пивоваренок, Д. Б. Мурин. - (Химическая технология). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2014. - Т. 57, вып. 8. - С. 44-47. - Библиогр.: с. 47 (13 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:Исследованы особенности плазмохимического травления GaAs в смесях HCI-Ar, HCI-CI[2] и HCI-H[2] в условиях тлеющего разряда постоянного тока.
