1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология»
  5. Выпуск 2014 г. Том 57. № 8
Взаимодействие плазмысмесейхлороводород-аргон, -хлор, - водород сарсенидом галлия Дунаев А. В.Пивоваренок С. А.Мурин Д. Б.2014 год

Взаимодействие плазмы смесей хлороводород-аргон, - хлор, - водород с арсенидом галлия
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Дунаев, А. В. Взаимодействие плазмы смесей хлороводород-аргон, - хлор, - водород с арсенидом галлия / А. В. Дунаев, С. А. Пивоваренок, Д. Б. Мурин. - (Химическая технология). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2014. - Т. 57, вып. 8. - С. 44-47. - Библиогр.: с. 47 (13 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация: Исследованы особенности плазмохимического травления GaAs в смесях HCI-Ar, HCI-CI[2] и HCI-H[2] в условиях тлеющего разряда постоянного тока.
Год издания: 2014
Авторы: Дунаев А. В. , Пивоваренок С. А. , Мурин Д. Б.
Источник: Известия вузов. Химия и химическая технология
Выпуск: Т. 57, вып. 8
Номера страниц: 44-47
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Интенсивностиизлучения иконцентрации активныхчастиц в плазметлеющего разряда всмесях хлористоговодорода с… Мурин Д. Б.Ефремов А. М.Светцов В. И.2013 год

Интенсивности излучения и концентрации активных частиц в плазме тлеющего разряда в смесях…

  • Мурин Д. Б. и др.
  • 2013 год
Влияние температурына скорость травленияи качествоповерхности GaAs приобработке в плазмеHCI-Ar, HCI-CI[2],HCI-H[2] Дунаев А. В.Пивоваренок С. А.Капинос С. П.2014 год

Влияние температуры на скорость травления и качество поверхности GaAs при обработке в плазме HCI…

  • Дунаев А. В. и др.
  • 2014 год

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение

  • Ефремов Александр Михайлович и др.
  • 2012 год
Электрофизическиепараметры плазмысмесей HCI+Ar, He,H[2], O[2], и CI[2] Ефремов А. М.Мурин Д. Б.2015 год

Электрофизические параметры плазмы смесей HCI+Ar, He, H[2], O[2], и CI[2]

  • Ефремов А. М. и др.
  • 2015 год
Интенсивностиизлучения иконцентрациинейтральных частиц вплазме тлеющегоразряда постоянноготока в смесяхHCI-H[2… Мурин Д. Б.Ефремов А. М.Светцов В. И.2013 год

Интенсивности излучения и концентрации нейтральных частиц в плазме тлеющего разряда постоянного…

  • Мурин Д. Б. и др.
  • 2013 год
О механизмахувеличения степенидиссоциации HCl вплазме тлеющегоразряда Ефремов Александр МихайловичМурин Дмитрий БорисовичБеляев Сергей Валерьевич2018 год

О механизмах увеличения степени диссоциации HCl в плазме тлеющего разряда

  • Ефремов Александр Михайлович и др.
  • 2018 год

Электрохимические процессы в химической промышленности: Производство водорода, кислорода, хлора и…

  • Якименко Леонид Маркович
  • 1981 год

A New Vanadium Catalyst for Chlorine Production by Hydrogen Chloride Oxidation

  • Tarabanko Nikolay V. и др.
  • 2009 год

Показать ещё

Сравнительноеизучениеэлектрофизическиххарактеристиктлеющего разряда надводными растворамианионактивных и… Шутов Дмитрий АлександровичИванов Александр НиколаевичРыбкин Владимир Владимирович2020 год

Сравнительное изучение электрофизических характеристик тлеющего разряда над водными растворами…

  • Шутов Дмитрий Александрович и др.
  • 2020 год
Спектральноеисследование плазмытлеющего разряда вметане и его смесях саргоном Баринов С. М.Светцов В. И.Ефремов А. М.2013 год

Спектральное исследование плазмы тлеющего разряда в метане и его смесях с аргоном

  • Баринов С. М. и др.
  • 2013 год
Метод расчетареальныхкоэффициентовактивности ионов напримере ионовводорода и хлора вводных растворах HCL Федорова АнастасияАлександровнаШаронов Николай ЮрьевичФилиппов Дмитрий Вячеславович2017 год

Метод расчета реальных коэффициентов активности ионов на примере ионов водорода и хлора в водных…

  • Федорова Анастасия Александровна и др.
  • 2017 год
Электрофизическиепараметры иконцентрациизаряженных частиц вплазме смесей метанас аргоном Ефремов А. М.Семенова О. А.Баринов С. М.2014 год

Электрофизические параметры и концентрации заряженных частиц в плазме смесей метана с аргоном

  • Ефремов А. М. и др.
  • 2014 год

A Novel vanadium catalyst for oxidation of hydrogen chloride with dioxygen

  • Tarabanko V. E. и др.
  • 2009 год
Потенциометрияреакции диоксидахлора с остаточнымлигниномлигноцеллюлозногопорошкового материала Мухрыгин Кирилл СергеевичДемин Валерий Анатольевич2016 год

Потенциометрия реакции диоксида хлора с остаточным лигнином лигноцеллюлозного порошкового материала

  • Мухрыгин Кирилл Сергеевич и др.
  • 2016 год
Многоэлементныйпанорамныйрентгеновскийдетектор на базеарсенида галлия Дворянкин В. Ф.Дикаев Ю. М.Кудряшов А. А.2016 год

Многоэлементный панорамный рентгеновский детектор на базе арсенида галлия

  • Дворянкин В. Ф. и др.
  • 2016 год
Создание развитойповерхностисинтетическихмонокристаллов алмазадля повышенияудельной мощностибета-вольтаических… Голованов Антон ВладимировичБормашов Виталий СергеевичВолков Александр Павлович2016 год

Создание развитой поверхности синтетических монокристаллов алмаза для повышения удельной мощности…

  • Голованов Антон Владимирович и др.
  • 2016 год