Библиографическое описание:Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AIN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза / Б. П. Сорокин [и др.]. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2014. - Т. 57, вып. 5. - С. 17-21 : 5 рис., 2 табл. - Библиогр.: с. 21 (7 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:Разработана технология магнетронного напыления пьезоэлектрических пленок из нитрида алюминия и металлических электродов на подложки из синтетического монокристалла алмаза. Для создания электродных структур с заданной топологией применялись методы фотолитографии. Структура пленок изучалась методами рентгеновской дифракции, атомно-силовой и растровой электронной микроскопии.
