1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология»
  5. Выпуск 2014 г. Том 57. № 5
Технологияизготовления СВЧпьезоэлектрическихпреобразователей наоснове пленки AIN,нанесенной наподложку изсинтетическогомонокристалла алмаза Сорокин Б. П.Квашнин Г. М.Бормашов В. С.2014 год

Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AIN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AIN, нанесенной на подложку из синтетического монокристалла алмаза / Б. П. Сорокин [и др.]. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2014. - Т. 57, вып. 5. - С. 17-21 : 5 рис., 2 табл. - Библиогр.: с. 21 (7 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация: Разработана технология магнетронного напыления пьезоэлектрических пленок из нитрида алюминия и металлических электродов на подложки из синтетического монокристалла алмаза. Для создания электродных структур с заданной топологией применялись методы фотолитографии. Структура пленок изучалась методами рентгеновской дифракции, атомно-силовой и растровой электронной микроскопии.
Год издания: 2014
Авторы: Сорокин Б. П. , Квашнин Г. М. , Бормашов В. С. , Волков А. П. , Теличко А. В. , Гордеев Г. И. , Голованов А. В.
Источник: Известия вузов. Химия и химическая технология
Выпуск: Т. 57, вып. 5
Номера страниц: 17-21
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Формированиерельефных структур наповерхностимонокристалловсинтетического алмазаметодом реактивногоионного… Бормашов В. С.Голованов А. В.Волков А. П.2013 год

Формирование рельефных структур на поверхности монокристаллов синтетического алмаза методом…

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2013 год
Упругие свойствамонокристалласинтетического алмаза Сорокин Б. П.Квашнин Г. М.Теличко А. В.2013 год

Упругие свойства монокристалла синтетического алмаза

  • Сорокин Б. П. и др.
  • 2013 год
Создание развитойповерхностисинтетическихмонокристаллов алмазадля повышенияудельной мощностибета-вольтаических… Голованов Антон ВладимировичБормашов Виталий СергеевичВолков Александр Павлович2016 год

Создание развитой поверхности синтетических монокристаллов алмаза для повышения удельной мощности…

  • Голованов Антон Владимирович и др.
  • 2016 год
Электрофизическиесвойствасинтетическихмонокристаллов алмазас различнойконцентрациейлегирующей примесибора Бормашов В. С.Тарелкин С. А.Кузнецов М. С.2013 год

Электрофизические свойства синтетических монокристаллов алмаза с различной концентрацией…

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2013 год
Исследование влияниякристаллографическогонаправлениясинтетическогомонокристалла алмазана коэффициентвторичной… Садовой Владимир ЮрьевичБланк Владимир ДавыдовичТерентьев Сергей Александрович2016 год

Исследование влияния кристаллографического направления синтетического монокристалла алмаза на…

  • Садовой Владимир Юрьевич и др.
  • 2016 год
Электрическиесвойствавысококачественныхсинтетическихмонокристалловалмаза, легированныхбором, и диодовШоттки на… Бормашов В. С.Тарелкин С. А.Буга С. Г.2017 год

Электрические свойства высококачественных синтетических монокристаллов алмаза, легированных бором…

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2017 год
Реактивное ионноетравление поверхностисинтетическогомонокристалла алмазав плазме Бормашов В. С.Волков А. П.Голованов А. В.2012 год

Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2012 год
Глубокое реактивноеионное травлениесинтетического алмаза Бормашов В. С.Голованов А. В.Волков А. П.2014 год

Глубокое реактивное ионное травление синтетического алмаза

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2014 год

Показать ещё

Механические иколебательныесвойствалегированного азотомалмаза Иванова Т. А.Маврин Б. Н.2013 год

Механические и колебательные свойства легированного азотом алмаза

  • Иванова Т. А. и др.
  • 2013 год
Химическоеникилированиесинтетических алмазов Строгая Г. М.Юдина Т. Ф.Ершова Т. В.2014 год

Химическое никилирование синтетических алмазов

  • Строгая Г. М. и др.
  • 2014 год
Исследованиеграфитизации алмазаметодомвысокотемпературнойдифрактометрии Полушин Н. И.Кучина И. Ю.Степарева Н. Н.2013 год

Исследование графитизации алмаза методом высокотемпературной дифрактометрии

  • Полушин Н. И. и др.
  • 2013 год
Легирование алмаза,выращенного методомгазофазного осаждения Тетерук Д. В.Тарелкин С. А.Бормашов В. С.2014 год

Легирование алмаза, выращенного методом газофазного осаждения

  • Тетерук Д. В. и др.
  • 2014 год
Применение дуговогоразряда для нанесенияметаллическихнаноразмерных пленок Тупик В. А.Потапов А. А.Марголин В. И.2021 год

Применение дугового разряда для нанесения металлических наноразмерных пленок

  • Тупик В. А. и др.
  • 2021 год
Модель ультратвердогофуллерита.Теоретическоеисследование Квашнина Ю. А.Квашнин А. Г.Сорокина Т. П.2015 год

Модель ультратвердого фуллерита. Теоретическое исследование

  • Квашнина Ю. А. и др.
  • 2015 год
Фазовые переходы вквазидвумерныхуглеродных материалах Квашнин А. Г.Квашнина Ю. А.Антипина Л. Ю.2014 год

Фазовые переходы в квазидвумерных углеродных материалах

  • Квашнин А. Г. и др.
  • 2014 год
Синтез сверхтвердыхкомпозиционныхматериалов в системеC[60]-алмаз привысоких давлениях итемпературах Пахомов И. В.Серебряная Н. Р.Баграмов Р. Х.2014 год

Синтез сверхтвердых композиционных материалов в системе C[60]-алмаз при высоких давлениях и…

  • Пахомов И. В. и др.
  • 2014 год