Библиографическое описание:Глубокое реактивное ионное травление синтетического алмаза / В. С. Бормашов [и др.]. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2014. - Т. 57, вып. 5. - С. 4-7 : 3 рис., 3 табл. - Библиогр.: с. 7 (10 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:Разработано и исследовано глубокое реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристаллического алмаза в двухступенчатом процессе травления в плазме на основе SF[6] и покрытия защитной пленкой в плазме на основе CF[4]. Для контроля рельефа поверхности алмазных образцов до и после обработки плазмой использована методика, основанная на анализе частотной зависимости спектральной плотности мощности экспериментальных изображений, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии на различных пространственных масштабах.
