1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология»
  5. Выпуск 2014 г. Том 57. № 5
Глубокое реактивноеионное травлениесинтетического алмаза Бормашов В. С.Голованов А. В.Волков А. П.2014 год

Глубокое реактивное ионное травление синтетического алмаза
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Глубокое реактивное ионное травление синтетического алмаза / В. С. Бормашов [и др.]. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2014. - Т. 57, вып. 5. - С. 4-7 : 3 рис., 3 табл. - Библиогр.: с. 7 (10 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация: Разработано и исследовано глубокое реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристаллического алмаза в двухступенчатом процессе травления в плазме на основе SF[6] и покрытия защитной пленкой в плазме на основе CF[4]. Для контроля рельефа поверхности алмазных образцов до и после обработки плазмой использована методика, основанная на анализе частотной зависимости спектральной плотности мощности экспериментальных изображений, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии на различных пространственных масштабах.
Год издания: 2014
Авторы: Бормашов В. С. , Голованов А. В. , Волков А. П. , Тарелкин С. А. , Буга С. Г. , Бланк В. Д.
Источник: Известия вузов. Химия и химическая технология
Выпуск: Т. 57, вып. 5
Номера страниц: 4-7
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Формированиерельефных структур наповерхностимонокристалловсинтетического алмазаметодом реактивногоионного… Бормашов В. С.Голованов А. В.Волков А. П.2013 год

Формирование рельефных структур на поверхности монокристаллов синтетического алмаза методом…

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2013 год
Реактивное ионноетравление поверхностисинтетическогомонокристалла алмазав плазме Бормашов В. С.Волков А. П.Голованов А. В.2012 год

Реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристалла алмаза в плазме

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2012 год
Создание развитойповерхностисинтетическихмонокристаллов алмазадля повышенияудельной мощностибета-вольтаических… Голованов Антон ВладимировичБормашов Виталий СергеевичВолков Александр Павлович2016 год

Создание развитой поверхности синтетических монокристаллов алмаза для повышения удельной мощности…

  • Голованов Антон Владимирович и др.
  • 2016 год
Химическоеникилированиесинтетических алмазов Строгая Г. М.Юдина Т. Ф.Ершова Т. В.2014 год

Химическое никилирование синтетических алмазов

  • Строгая Г. М. и др.
  • 2014 год
Технологияизготовления СВЧпьезоэлектрическихпреобразователей наоснове пленки AIN,нанесенной наподложку из… Сорокин Б. П.Квашнин Г. М.Бормашов В. С.2014 год

Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических преобразователей на основе пленки AIN, нанесенной…

  • Сорокин Б. П. и др.
  • 2014 год
Упругие свойствамонокристалласинтетического алмаза Сорокин Б. П.Квашнин Г. М.Теличко А. В.2013 год

Упругие свойства монокристалла синтетического алмаза

  • Сорокин Б. П. и др.
  • 2013 год
Электрофизическиесвойствасинтетическихмонокристаллов алмазас различнойконцентрациейлегирующей примесибора Бормашов В. С.Тарелкин С. А.Кузнецов М. С.2013 год

Электрофизические свойства синтетических монокристаллов алмаза с различной концентрацией…

  • Бормашов В. С. и др.
  • 2013 год
Исследование влияниякристаллографическогонаправлениясинтетическогомонокристалла алмазана коэффициентвторичной… Садовой Владимир ЮрьевичБланк Владимир ДавыдовичТерентьев Сергей Александрович2016 год

Исследование влияния кристаллографического направления синтетического монокристалла алмаза на…

  • Садовой Владимир Юрьевич и др.
  • 2016 год

Показать ещё

Легирование алмаза,выращенного методомгазофазного осаждения Тетерук Д. В.Тарелкин С. А.Бормашов В. С.2014 год

Легирование алмаза, выращенного методом газофазного осаждения

  • Тетерук Д. В. и др.
  • 2014 год
Механические иколебательныесвойствалегированного азотомалмаза Иванова Т. А.Маврин Б. Н.2013 год

Механические и колебательные свойства легированного азотом алмаза

  • Иванова Т. А. и др.
  • 2013 год
Кинетическиезакономерноститравленияполикарбоната вплазме кислорода ивоздуха Овцын Александр АндреевичАртюхов Алексей ИвановичСмирнов Сергей Александрович2016 год

Кинетические закономерности травления поликарбоната в плазме кислорода и воздуха

  • Овцын Александр Андреевич и др.
  • 2016 год
Исследованиеграфитизации алмазаметодомвысокотемпературнойдифрактометрии Полушин Н. И.Кучина И. Ю.Степарева Н. Н.2013 год

Исследование графитизации алмаза методом высокотемпературной дифрактометрии

  • Полушин Н. И. и др.
  • 2013 год
Первопринципныеисследованияструктурных, упругихи колебательныхсвойствгексагональныхполитипов алмаза Иванова Т. А.Маврин Б. Н.2014 год

Первопринципные исследования структурных, упругих и колебательных свойств гексагональных…

  • Иванова Т. А. и др.
  • 2014 год
Исследование влиянияпродуктов травленияпленки полиэтилена напараметрынеравновесной плазмывоздуха Кадников Д. В.Смирнов С. А.Рыбкин В. В.2015 год

Исследование влияния продуктов травления пленки полиэтилена на параметры неравновесной плазмы…

  • Кадников Д. В. и др.
  • 2015 год
Дискретные этапыфазового переходаалмаз-графит приотжиге наноалмазов вширокой температурнойобласти Корниенко Николай ЕвдокимовичКириченко Алексей Николаевич2016 год

Дискретные этапы фазового перехода алмаз-графит при отжиге наноалмазов в широкой температурной…

  • Корниенко Николай Евдокимович и др.
  • 2016 год
Барическаязависимостьрешеточных свойствалмаза Магомедов Махач Насрутдинович2016 год

Барическая зависимость решеточных свойств алмаза

  • Магомедов Махач Насрутдинович
  • 2016 год