Библиографическое описание:Автоматизированная система формирования топологической информации для изготовления комплекта фотошаблонов сверхбольших интегральных схем / А. В. Амирханов [и др.]. - (Системы автоматизированного проектирования). - Текст : непосредственный // Информационные технологии. - 2016. - Т. 22, № 2. - С. 127-133. - Библиогр.: с. 133 (11 назв.). - ISSN 1684-6400.
Аннотация:Рассмотрен подход к автоматизации процесса формирования топологической информации для производства фотошаблонов субмикронных сверхбольших интегральных схем. Разработано программное обеспечение, интегрированное с системой автоматизированного проектирования.
