Исследование влиянияконструктивныхпараметровэлектростатическогозатвора на физическиепроцессы в активнойчасти Минкин М. С.Володин Г. И.2013 год

Исследование влияния конструктивных параметров электростатического затвора на физические процессы в активной части
статья из журнала