Осаждение вольфрамавосстановлением егогексафторидаводородом пристехиометрическомсоотношениикомпонентов -экологически чистыйтехнологическийпроцесс Королев Ю. М.2015 год

Осаждение вольфрама восстановлением его гексафторида водородом при стехиометрическом соотношении компонентов - экологически чистый технологический процесс
статья из журнала