Переработкакварцевого сырья наполикристаллическийкремний в потокеаргоново-водороднойплазмы Гришин Ю. М.Козлов Н. П.Скрябин А. С.2013 год

Переработка кварцевого сырья на поликристаллический кремний в потоке аргоново-водородной плазмы
статья из журнала