Библиографическое описание:Анненков, А. Н. Проектирование и технология изготовления микроэлектромеханических устройств / Анненков А. Н., Беспалов В. Я., Шиянов А. И. - Текст : непосредственный // Электричество. - 2012. - № 12. - С. 51-56. - Библиогр.: с. 56 (14 назв. ). - ISSN 0013-5380.
Аннотация:Указаны направления развития теории и создания методики расчета микроэлектромеханических преобразователей энергии, перечислены основные этапы технологического процесса производства статорных и роторных обмоток преобразователей на основе микролитографии.
