Библиографическое описание:Полупроводники: у облученного кремния увеличился диаметр. - (Повестка дня. Коротко). - Текст : непосредственный // Эксперт. - 2022. - № 37. - С. 4. - ISSN 1812-1896.
Аннотация:Сообщение о запуске в промышленную эксплуатацию в Томском политехническом университете комплекса для ядерного легирования кремния большого диаметра.
