Аннотация:Раскрывается необходимость достижения независимости от поставок микроэлектроники как основы обеспечения технологической независимости России. Приводится информация о фотолитографии и фотолитографических установках. Рассказывается о фотолитографах, разработанных Зеленоградским нанотехнологическим центром и Центром коллективного пользования "Микросистемная техника и электронная компонентная база" НИУ "Московский институт электронной техники".
