1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Дизайн и технологии»
  5. Выпуск 2012 г. № 31
Технологияизготовленияуниверсальнойдиэлектрическоймембраннойконструкции длявосстанавливаемыхсорбционных газовыхсенсоров Веселов Д. С.Воронов Ю. А.2012 год

Технология изготовления универсальной диэлектрической мембранной конструкции для восстанавливаемых сорбционных газовых сенсоров
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (В 38)
Библиографическое описание: Веселов, Д. С. Технология изготовления универсальной диэлектрической мембранной конструкции для восстанавливаемых сорбционных газовых сенсоров / Д. С. Веселов, Ю. А. Воронов. - (Химическая технология и экология технологических процессов). - Текст : непосредственный // Дизайн и технологии. - 2012. - № 31 (73). - С. 74-81. - Библиогр.: с. 81. - ISSN 2076-4693.
Аннотация: Разработана технология, основанная на разделении операции анизотропного травления полостей под образование мембран на два этапа и формирование разноуровневого протрава полостей под образование мембран и разделительных полос на основном этапе анизотропного травления, позволяющая все технологические операции проводить групповым методом и пригодная для серийного производства устройств выявления практически любого газа.
Год издания: 2012
Авторы: Веселов Д. С. , Воронов Ю. А.
Источник: Дизайн и технологии
Выпуск: № 31 (73)
Номера страниц: 74-81
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Теплоизолирующиесвойствадиэлектрическихмембранныхконструкцийчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газов Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Теплоизолирующие свойства диэлектрических мембранных конструкций чувствительных элементов…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год

Аппаратное и программное обеспечение наземных испытаний узлов и механизмов космических аппаратов

  • Иванов В. И. и др.
  • 2012 год
Особенностипримененияжидкостного травлениякремния в технологииизготовленияМЭМС-структур Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Особенности применения жидкостного травления кремния в технологии изготовления МЭМС-структур

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год
Разработкаконструкции итехнологииизготовлениявысокоэффективныхкрутильных колец Жариков Е. И.2017 год

Разработка конструкции и технологии изготовления высокоэффективных крутильных колец

  • Жариков Е. И.
  • 2017 год
Технология очисткиводоэмульсионныхсточных вод сдоочисткоймембранными исорбционными методами Фазуллин Д. Д.Маврин Г. В.2014 год

Технология очистки водоэмульсионных сточных вод с доочисткой мембранными и сорбционными методами

  • Фазуллин Д. Д. и др.
  • 2014 год
ИзготовлениеМЭМС-структурчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газа сприменениеморганических щелочей Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий АлександровичВанюхин Кирилл Дмитриевич2015 год

Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2015 год

Технология изготовления паяных конструкций

  • Федоров А. Л. и др.
  • 2013 год
Метод оптимальнойэнтропийнойкластеризации на базенового определенияинтересности атрибутасостояния элементов… Аскерова Б. Г.2017 год

Метод оптимальной энтропийной кластеризации на базе нового определения интересности атрибута…

  • Аскерова Б. Г.
  • 2017 год

Показать ещё

Цифровые технологии иоборудование впроизводствеавиационныхгазотурбинныхдвигателей Елисеев Д. Н.Кузнецов И. И.Братухин А. Г.2018 год

Цифровые технологии и оборудование в производстве авиационных газотурбинных двигателей

  • Елисеев Д. Н. и др.
  • 2018 год
Разработка технологииизготовления ипроектированияконструкцииспециальнойтвердосплавной фрезы Васильев Е. В.Попов А. Ю.Бугай И. А.2014 год

Разработка технологии изготовления и проектирования конструкции специальной твердосплавной фрезы

  • Васильев Е. В. и др.
  • 2014 год

Конструкции и технология изготовления театральных декораций

  • Понсов А. Д.
  • 2025 год
Особенноститехнологииизготовления сварныхкольцевых конструкцийиз высокопрочногосплава ВЖ172 Ломберг Б. С.Мазалов И. С.Быков Ю. Г.2014 год

Особенности технологии изготовления сварных кольцевых конструкций из высокопрочного сплава ВЖ172

  • Ломберг Б. С. и др.
  • 2014 год
Об оценке времениразработкикрупномасштабнойинформационно-управляющей системы,создаваемой вструктуре системысистем Литвин В. Г.Литвин Ю. В.2017 год

Об оценке времени разработки крупномасштабной информационно-управляющей системы, создаваемой в…

  • Литвин В. Г. и др.
  • 2017 год
Непрерывная логика ианализ надежностисложных систем.Исследованиенекоторых классовсистем Левин В. И.2019 год

Непрерывная логика и анализ надежности сложных систем. Исследование некоторых классов систем

  • Левин В. И.
  • 2019 год
Совершенствованиеконструкции итехнологииизготовления медныхтоковводоввысоковакуумныхтехнологическихустановок Колоколов Е. И.Руденко В. А.Томилин С. А.2016 год

Совершенствование конструкции и технологии изготовления медных токовводов высоковакуумных…

  • Колоколов Е. И. и др.
  • 2016 год
Погрешность измерениякоординаткомпьютеризированнымиРЛС, обусловленнаяскоростью передачиданных враспределенных… Гриняк В. М.Иваненко Ю. С.Девятисильный А. С.2016 год

Погрешность измерения координат компьютеризированными РЛС, обусловленная скоростью передачи…

  • Гриняк В. М. и др.
  • 2016 год