Библиографическое описание:Пауткин, Валерий Евгеньевич. Формообразование элементов МЭМС / Пауткин Валерий Евгеньевич. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2018. - № 8/9. - С. 56-61 : ил. - Библиогр.: с. 61 (20 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Рассмотрены технологии жидкостного травления кремния при формировании микромеханических датчиков, например акселерометров и датчиков угловой скорости, имеющих в своем составе упругие элементы сложной формы. К числу технологий жидкостного травления кремния относятся анизотропное и изотопное травление. Проанализированы факторы, позволяющие добиваться высокопроизводительных процессов травления.
