1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2018 г. № 8/9
Формообразованиеэлементов МЭМС Пауткин Валерий Евгеньевич2018 год

Формообразование элементов МЭМС
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (П 214)
Библиографическое описание: Пауткин, Валерий Евгеньевич. Формообразование элементов МЭМС / Пауткин Валерий Евгеньевич. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2018. - № 8/9. - С. 56-61 : ил. - Библиогр.: с. 61 (20 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Рассмотрены технологии жидкостного травления кремния при формировании микромеханических датчиков, например акселерометров и датчиков угловой скорости, имеющих в своем составе упругие элементы сложной формы. К числу технологий жидкостного травления кремния относятся анизотропное и изотопное травление. Проанализированы факторы, позволяющие добиваться высокопроизводительных процессов травления.
Год издания: 2018
Авторы: Пауткин Валерий Евгеньевич
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 8/9
Номера страниц: 56-61
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

ИзготовлениеМЭМС-структурчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газа сприменениеморганических щелочей Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий АлександровичВанюхин Кирилл Дмитриевич2015 год

Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2015 год
Особенностипримененияжидкостного травлениякремния в технологииизготовленияМЭМС-структур Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Особенности применения жидкостного травления кремния в технологии изготовления МЭМС-структур

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год
Организация входногоконтролячувствительныхэлементовмикромеханическихдатчиков на пластине Якимова Анна ВасильевнаБелогуров АлексейАлександровичБеляев Яков Валерьевич2017 год

Организация входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине

  • Якимова Анна Васильевна и др.
  • 2017 год
Методы температурнойкомпенсацииМЭМС-резонаторов Бестугин Александр РоальдовичБелова Лилия ВладимировнаКиршина Елена Анатольевна2018 год

Методы температурной компенсации МЭМС-резонаторов

  • Бестугин Александр Роальдович и др.
  • 2018 год
Калибровка трехосногоМЭМС-датчика угловыхскоростей с учетомнелинейной моделисмещений нулей Качанов Борис ОлеговичКулабухов Владимир СергеевичТуктарев Николай Алексеевич2018 год

Калибровка трехосного МЭМС-датчика угловых скоростей с учетом нелинейной модели смещений нулей

  • Качанов Борис Олегович и др.
  • 2018 год
Моделированиечувствительногоэлемента датчикадавления на основебиполярноготензотранзистора Басов Михаил ВикторовичПригодский Денис МихайловичХолодков Денис Анатольевич2017 год

Моделирование чувствительного элемента датчика давления на основе биполярного тензотранзистора

  • Басов Михаил Викторович и др.
  • 2017 год
Анализ проблемпроизводствакристалловчувствительныхэлементов измонокристаллическогокремния для сенсорныхсистем Аваева Лина ГригорьевнаСергеева Наталья АлексеевнаМилешин Сергей Андреевич2017 год

Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния…

  • Аваева Лина Григорьевна и др.
  • 2017 год
Экономичнаятехнологияформированияметаллических слоевна керамическихпленках длягазочувствительныхдатчиков Самотаев Николай НиколаевичОблов Константин ЮрьевичИванова Анастасия Владимировна2016 год

Экономичная технология формирования металлических слоев на керамических пленках для…

  • Самотаев Николай Николаевич и др.
  • 2016 год

Показать ещё

Контрольно-измерительные МЭМС сиспользованиеммалогабаритныхчувствительныхэлементов измонокристаллического… Сергеева Наталья АлексеевнаЦивинская Татьяна АнатольевнаШахнов Вадим Анатольевич2016 год

Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из…

  • Сергеева Наталья Алексеевна и др.
  • 2016 год
КоррекциятемпературнойпогрешностиMEMS-датчиковускорения Осипов Андрей Борисович2016 год

Коррекция температурной погрешности MEMS-датчиков ускорения

  • Осипов Андрей Борисович
  • 2016 год
Волоконно-оптическиебрэгговские решеткикакспектрально-селективные элементы приобработке сигналаволоконно… Веснин Владимир ЛеонидовичНизаметдинов Азат МаратовичИванов Олег Витальевич2018 год

Волоконно-оптические брэгговские решетки как спектрально-селективные элементы при обработке…

  • Веснин Владимир Леонидович и др.
  • 2018 год
Влияние диссипациикинетической энергииколебаний нанадежностьфункционированиябалочныхмикрорезонаторов Филонов Олег МихайловичОвчинникова НатальяАнатольевнаОкин Павел Александрович2018 год

Влияние диссипации кинетической энергии колебаний на надежность функционирования балочных…

  • Филонов Олег Михайлович и др.
  • 2018 год
Теплоизолирующиесвойствадиэлектрическихмембранныхконструкцийчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газов Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Теплоизолирующие свойства диэлектрических мембранных конструкций чувствительных элементов…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год
МетодикамоделированиярадиационнойчувствительностиМДП-транзисторныхэлементов датчиков Подлепецкий Борис ИвановичБакеренков Александр СергеевичСухорослова Юлия Валерьевна2016 год

Методика моделирования радиационной чувствительности МДП-транзисторных элементов датчиков

  • Подлепецкий Борис Иванович и др.
  • 2016 год
Измерениекратковременныхсиловых воздействиймагнитоупругимдатчиком Ефремов Альберт Константинович2017 год

Измерение кратковременных силовых воздействий магнитоупругим датчиком

  • Ефремов Альберт Константинович
  • 2017 год
Цифровой датчикпоглощенной зоны наоснове коммерческогоМОП-транзистора Бакеренков Александр СергеевичПодлепецкий Борис ИвановичФелицын ВладиславАлександрович2018 год

Цифровой датчик поглощенной зоны на основе коммерческого МОП-транзистора

  • Бакеренков Александр Сергеевич и др.
  • 2018 год