Библиографическое описание:Кольцевые МЭМС-гироскопы на основе нитрида алюминия / Кешаварздивколаи Камран [и др.]. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2018. - № 8/9. - С. 41-45 : ил. - Библиогр.: с. 45 (11 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Рассмотрены конструкции и физические основы пьезоэлектрических микроэлектромеханических гироскопов (ПММГ). Приведены сравнительные характеристики различных резонаторов ПММГ и сообщаются результаты численного моделирования кольцевых резонаторов ПММГ на основе пьезоэлектрических пленок нитрида алюминия (AlN).
