Кольцевые МЭМС-гироскопы на основе нитрида алюминия
статья из журнала
База данных:Каталог библиотеки СФУ
Аннотация:Рассмотрены конструкции и физические основы пьезоэлектрических микроэлектромеханических гироскопов (ПММГ). Приведены сравнительные характеристики различных резонаторов ПММГ и сообщаются результаты численного моделирования кольцевых резонаторов ПММГ на основе пьезоэлектрических пленок нитрида алюминия (AlN).
