1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2018 г. № 12
Методы температурнойкомпенсацииМЭМС-резонаторов Бестугин Александр РоальдовичБелова Лилия ВладимировнаКиршина Елена Анатольевна2018 год

Методы температурной компенсации МЭМС-резонаторов
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Б 537)
Библиографическое описание: Бестугин, Александр Роальдович. Методы температурной компенсации МЭМС-резонаторов / Бестугин Александр Роальдович, Белова Лилия Владимировна, Киршина Ирина Анатольевна. - (Представляет Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2018. - № 12. - С. 17-21 : ил. - Библиогр.: с. 21 (10 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Рассмотрены пассивные методы регулирования температурного коэффициента частоты (TCF), такие как разработка геометрии резонатора, работающего в резонансных режимах, определяемых коэффициентами упругости при более низкой температурной чувствительности; компенсация за счет введения легированного профиля в тело резонатора; добавление компенсирующего материала с TCF противоположного знака для формирования составной структуры с уменьшенным TCF. Проведенный анализ показал эффективность и перспективность этих методов для проектирования высокоточных резонаторов.
Год издания: 2018
Авторы: Бестугин Александр Роальдович , Белова Лилия Владимировна , Киршина Елена Анатольевна
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 12
Номера страниц: 17-21
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Формообразованиеэлементов МЭМС Пауткин Валерий Евгеньевич2018 год

Формообразование элементов МЭМС

  • Пауткин Валерий Евгеньевич
  • 2018 год
Технологические иконструктивныевозможноститемпературнойкомпенсации вфильтрах наповерхностныхакустических… Балышева О. Л.2017 год

Технологические и конструктивные возможности температурной компенсации в фильтрах на…

  • Балышева О. Л.
  • 2017 год
КоррекциятемпературнойпогрешностиMEMS-датчиковускорения Осипов Андрей Борисович2016 год

Коррекция температурной погрешности MEMS-датчиков ускорения

  • Осипов Андрей Борисович
  • 2016 год
Анализ зависимостипроцесса диссипациикинетической энергиив микрорезонаторах оттемпературыокружающей среды Бестугин А. Р.Филонов О. М.Киршина И. А.2017 год

Анализ зависимости процесса диссипации кинетической энергии в микрорезонаторах от температуры…

  • Бестугин А. Р. и др.
  • 2017 год
Оценка добротностибалочногомикрорезонатора сучетом многослойностиего структуры Бестугин А. Р.Филонов О. М.Овчинникова Н. А.2018 год

Оценка добротности балочного микрорезонатора с учетом многослойности его структуры

  • Бестугин А. Р. и др.
  • 2018 год
Высокодобротныерезонаторы насдвиговыхповерхностных волнах Плесский В. П.Гуляев Ю. В.2015 год

Высокодобротные резонаторы на сдвиговых поверхностных волнах

  • Плесский В. П. и др.
  • 2015 год
Измерениедиэлектрическойпроницаемостидиоксида кремния принагреве ввысокотемпературномобъемном волноводном… Крылов В. П.Грачев В. А.Рогов Д. А.2016 год

Измерение диэлектрической проницаемости диоксида кремния при нагреве в высокотемпературном…

  • Крылов В. П. и др.
  • 2016 год
Метод контролятемпературныхпараметровработоспособностимоторных масел Ковальский Б. И.Путовит П. Ю.Шрам В. Г.2018 год

Метод контроля температурных параметров работоспособности моторных масел

  • Ковальский Б. И. и др.
  • 2018 год

Показать ещё

Определениедиэлектрическойпроницаемостиматериалов привысокотемпературномнагреве в объемномволноводномрезонаторе Крылов В. П.2016 год

Определение диэлектрической проницаемости материалов при высокотемпературном нагреве в объемном…

  • Крылов В. П.
  • 2016 год
Температурнаязависимостьакустической эмиссиив дрожжах Миргородский Владимир ИвановичГерасимов Вадим ВладимировичГерус Андрей Валерианович2016 год

Температурная зависимость акустической эмиссии в дрожжах

  • Миргородский Владимир Иванович и др.
  • 2016 год

Основы метода температурной истории. Обзор подходов к оценке теплофизических свойств…

  • Тестов Д. С. и др.
  • 2024 год
Моделированиечувствительногоэлемента датчикадавления на основебиполярноготензотранзистора Басов Михаил ВикторовичПригодский Денис МихайловичХолодков Денис Анатольевич2017 год

Моделирование чувствительного элемента датчика давления на основе биполярного тензотранзистора

  • Басов Михаил Викторович и др.
  • 2017 год
Экономичнаятехнологияформированияметаллических слоевна керамическихпленках длягазочувствительныхдатчиков Самотаев Николай НиколаевичОблов Константин ЮрьевичИванова Анастасия Владимировна2016 год

Экономичная технология формирования металлических слоев на керамических пленках для…

  • Самотаев Николай Николаевич и др.
  • 2016 год
Фотометрический методконтролятемпературнойстойкости моторныхмасел и влиянияпродуктовтемпературнойдеструкции на… Ковальский Б. И.Сокольников А. Н.Петров О. Н.2016 год

Фотометрический метод контроля температурной стойкости моторных масел и влияния продуктов…

  • Ковальский Б. И. и др.
  • 2016 год
КольцевыеМЭМС-гироскопы наоснове нитридаалюминия Кешаварздивколаи КамранЛукичев Владимир ФедоровичКальнов Владимир Александрович2018 год

Кольцевые МЭМС-гироскопы на основе нитрида алюминия

  • Кешаварздивколаи Камран и др.
  • 2018 год
Определение спектрасобственныхрезонансных частот иструктурыэлектромагнитногополя прямоугольногорезонатора с… Коломейцев В. А.Ковряков П. В.Лойко В. А.2015 год

Определение спектра собственных резонансных частот и структуры электромагнитного поля…

  • Коломейцев В. А. и др.
  • 2015 год