Методы температурной компенсации МЭМС-резонаторовстатья из журнала
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Б 537)
Библиографическое описание: Бестугин, Александр Роальдович. Методы температурной компенсации МЭМС-резонаторов / Бестугин Александр Роальдович, Белова Лилия Владимировна, Киршина Ирина Анатольевна. - (Представляет Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2018. - № 12. - С. 17-21 : ил. - Библиогр.: с. 21 (10 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Рассмотрены пассивные методы регулирования температурного коэффициента частоты (TCF), такие как разработка геометрии резонатора, работающего в резонансных режимах, определяемых коэффициентами упругости при более низкой температурной чувствительности; компенсация за счет введения легированного профиля в тело резонатора; добавление компенсирующего материала с TCF противоположного знака для формирования составной структуры с уменьшенным TCF. Проведенный анализ показал эффективность и перспективность этих методов для проектирования высокоточных резонаторов.
Год издания: 2018
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 12
Номера страниц: 17-21
Количество экземпляров:
- Книгохранилище научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров
Ключевые слова: tcf, МЭМС-резонаторы, кремниевые микромеханические резонаторы, кремниевые подложки, микромеханические резонаторы, микроэлектроника, монокристаллические кремниевые подложки, резонаторы, температурные компенсации, температурные коэффициенты частоты
Рубрики: Радиоэлектроника,
Радиоаппаратура,
Физика,
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Радиоаппаратура,
Физика,
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
ISSN: 1992-7185
Идентификаторы: полочный индекс Б 537, шифр dasi/2018/12-681819299