Моделирование чувствительного элемента датчика давления на основе биполярного тензотранзисторастатья из журнала
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Б 275)
Библиографическое описание: Басов, Михаил Викторович. Моделирование чувствительного элемента датчика давления на основе биполярного тензотранзистора / Басов Михаил Викторович, Пригодский Денис Михайлович, Холодков Денис Анатольевич. - (Теория и принципы построения датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2017. - № 6. - С. 17-24 : ил. - Библиогр.: с. 24 (21 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Проведено моделирование высокочувствительной микроэлектромеханической системы (МЭМС) преобразователя давления, основанной на функционировании электрической схемы дифференциального каскада с тензочувствительными активными (биполярные n-p-n транзисторы) и пассивными (резисторы p-типа) элементами. Анализ тензочувствительности проводился на основе разработанной математической модели для кристалла датчика давления с электрической схемой тензорезистивного моста и теоретических выводов относительно изменения электрических параметров биполярного транзистора при воздействии деформации.
Год издания: 2017
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 6
Номера страниц: 17-24
Количество экземпляров:
- Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, 4 этаж, холл): свободно 1 из 1 экземпляров
Ключевые слова: мэмс, анизотропия, биполярные тензотранзисторы, датчики давления, кремниевые кристаллы, кристаллы, математические модели, микроэлектромеханические системы, моделирование кристаллов, преобразователи давления, резисторы, тензорезисторы, тензотранзисторы, тензочувствительность, транзисторы, чувствительные элементы
Рубрики: Физика,
Физика твердого тела. Кристаллография в целом,
Радиоэлектроника,
Автоматика и телемеханика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом,
Радиоэлектроника,
Автоматика и телемеханика
ISSN: 1992-7185
Идентификаторы: полочный индекс Б 275, шифр dasi/2017/6-273481791