Библиографическое описание:Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния для сенсорных систем / Аваева Лина Григорьевна [и др.]. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2017. - № 5. - С. 25-31 : ил. - Библиогр.: с. 31 (12 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Рассмотрены проблемы современного производства по созданию чувствительных элементов сенсорных систем из монокристаллического кремния. Показаны особенности методов конструирования с учетом технологических ограничений при производстве интегральных структур, предназначенных для высокоточных контрольно-измерительных приборов измерения давления. Проанализированы типовые дефекты кристаллической решетки, возникающие при создании чувствительных элементов из монокристаллического кремния, и их влияние на характеристики контрольно-измерительных сенсоров. Даны рекомендации по учету влияния механических свойств монокристаллического кремния, габаритных размеров кристалла и производственных факторов при разработке конструкции кристалла чувствительных элементов.
