Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния для сенсорных систем

Аваева Лина Григорьевна; Сергеева Наталья Алексеевна; Милешин Сергей Андреевич; Цивинская Татьяна Анатольевна

База данных: Каталог библиотеки СФУ (А 640)

Библиографическое описание: Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния для сенсорных систем / Аваева Лина Григорьевна [и др.]. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2017. - № 5. - С. 25-31 : ил. - Библиогр.: с. 31 (12 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.

Аннотация: Рассмотрены проблемы современного производства по созданию чувствительных элементов сенсорных систем из монокристаллического кремния. Показаны особенности методов конструирования с учетом технологических ограничений при производстве интегральных структур, предназначенных для высокоточных контрольно-измерительных приборов измерения давления. Проанализированы типовые дефекты кристаллической решетки, возникающие при создании чувствительных элементов из монокристаллического кремния, и их влияние на характеристики контрольно-измерительных сенсоров. Даны рекомендации по учету влияния механических свойств монокристаллического кремния, габаритных размеров кристалла и производственных факторов при разработке конструкции кристалла чувствительных элементов.

Год издания: 2017

Авторы: Аваева Лина Григорьевна , Сергеева Наталья Алексеевна , Милешин Сергей Андреевич , Цивинская Татьяна Анатольевна

Источник: Датчики и системы

Выпуск: № 5

Номера страниц: 25-31

Количество экземпляров:

Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Показать дополнительные сведения

Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из…

Сергеева Наталья Алексеевна и др.
2016 год

Из чего выращивают искусственные кристаллы?

2014 год

Моделирование чувствительного элемента датчика давления на основе биполярного тензотранзистора

Басов Михаил Викторович и др.
2017 год

Влияние температуры МДП-транзисторных чувствительных элементов на характеристики датчиков водорода

Подлепецкий Борис Иванович и др.
2015 год

Кремниевые преобразователи давления с защитой от перегрузок

Андреев Константин Александрович и др.
2014 год

Формообразование элементов МЭМС

Пауткин Валерий Евгеньевич
2018 год

Синтез и рост из расплава кристаллов GaSe1–xSx (x=0-1): фазовый состав и свойства

Колесников Н. Н. и др.
2017 год

Верификация результатов моделирования измерительной цепи с одновитковыми вихретоковыми датчиками

Боровик Сергей Юрьевич и др.
2016 год

Американские ученые создали эластичные сенсорные волокна

2017 год

Повышение чувствительности МЭМ-датчиков давления оптимизацией топологии вторичных измерительных…

Окин Павел Александрович
2016 год

Теплоизолирующие свойства диэлектрических мембранных конструкций чувствительных элементов…

Веселов Денис Сергеевич и др.
2016 год

Организация входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине

Якимова Анна Васильевна и др.
2017 год

Возможности технологии ПАВ для построения интегрированных чувствительных элементов

Балышева Ольга Леонидовна
2016 год

Эквивалентные параметры одновиткового вихретокового датчика в измерительной цепи с импульсным…

Боровик Сергей Юрьевич и др.
2016 год

Влияние диссипации кинетической энергии колебаний на надежность функционирования балочных…

Филонов Олег Михайлович и др.
2018 год

Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением…

Веселов Денис Сергеевич и др.
2015 год

Библиотечно-издательский комплекс СФУ

Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния для сенсорных систем
статья из журнала

Похожие публикации