Библиографическое описание:Якимова, Анна Васильевна. Организация входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине / Якимова Анна Васильевна, Белогуров Алексей Александрович, Беляев Яков Валерьевич. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2017. - № 2. - С. 47-52 : ил. - Библиогр.: с. 52 (11 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Показано решение задачи организации входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине. Описаны аппаратная и программная части комплекса по проведению зондовых измерений, а также основные проблемы, решенные при его разработке. Приведены экспериментальные результаты.
