1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2017 г. № 2
Организация входногоконтролячувствительныхэлементовмикромеханическихдатчиков на пластине Якимова Анна ВасильевнаБелогуров АлексейАлександровичБеляев Яков Валерьевич2017 год

Организация входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Якимова, Анна Васильевна. Организация входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине / Якимова Анна Васильевна, Белогуров Алексей Александрович, Беляев Яков Валерьевич. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2017. - № 2. - С. 47-52 : ил. - Библиогр.: с. 52 (11 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Показано решение задачи организации входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине. Описаны аппаратная и программная части комплекса по проведению зондовых измерений, а также основные проблемы, решенные при его разработке. Приведены экспериментальные результаты.
Год издания: 2017
Авторы: Якимова Анна Васильевна , Белогуров Алексей Александрович , Беляев Яков Валерьевич
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 2
Номера страниц: 47-52
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие документы

Применение щелочногостекла в конструкцияхмикромеханическихдатчиков Пауткин В. Е.2019 год

Применение щелочного стекла в конструкциях микромеханических датчиков

  • Пауткин В. Е.
  • 2019 год
Моделированиехарактеристикинтегральных датчиковводорода сМДП-транзисторнымичувствительнымиэлементами Подлепецкий Борис Иванович2014 год

Моделирование характеристик интегральных датчиков водорода с МДП-транзисторными чувствительными элементами

  • Подлепецкий Борис Иванович
  • 2014 год
Влияние температурыМДП-транзисторныхчувствительныхэлементов нахарактеристикидатчиков водорода Подлепецкий Борис ИвановичНикифорова Марина Юрьевна2015 год

Влияние температуры МДП-транзисторных чувствительных элементов на характеристики датчиков водорода

  • Подлепецкий Борис Иванович и др.
  • 2015 год
Теоретический базис иконструктивно-кинематические схемымикромеханическихинерциальныхавтоколебательныхдатчиков Скалон Анатолий ИвановичТыртычный Алексей АнатольевичАман Елена Эдуардовна2016 год

Теоретический базис и конструктивно-кинематические схемы микромеханических инерциальных автоколебательных датчиков

  • Скалон Анатолий Иванович и др.
  • 2016 год
Чувствительныеэлементы на основерезонатора на ПАВ длядатчиков температурыс термометрическойлупой Крышталь Раиса ГригорьевнаМедведь Александр ВладимировичПроказин Федор Евгеньевич2014 год

Чувствительные элементы на основе резонатора на ПАВ для датчиков температуры с термометрической лупой

  • Крышталь Раиса Григорьевна и др.
  • 2014 год
Теплоизолирующиесвойствадиэлектрическихмембранныхконструкцийчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газов Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Теплоизолирующие свойства диэлектрических мембранных конструкций чувствительных элементов датчиков концентрации газов

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год
Универсальныйчувствительныйэлемент давления Казарян Акоп Айрапетович2014 год

Универсальный чувствительный элемент давления

  • Казарян Акоп Айрапетович
  • 2014 год
ИзготовлениеМЭМС-структурчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газа сприменениеморганических щелочей Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий АлександровичВанюхин Кирилл Дмитриевич2015 год

Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением органических щелочей

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2015 год
Влияние параметровчувствительногоэлементамагнитожидкостногодатчика угла наклонана силу подвеса Морозова Дарья ЮрьевнаСайкин Михаил Сергеевич2015 год

Влияние параметров чувствительного элемента магнитожидкостного датчика угла наклона на силу подвеса

  • Морозова Дарья Юрьевна и др.
  • 2015 год
Имитационноемоделированиечувствительногоэлемента датчикадавления струнноготипа Мусаев Руслан ШабаевичТрофимов Алексей АнатольевичФролов Михаил Алексеевич2014 год

Имитационное моделирование чувствительного элемента датчика давления струнного типа

  • Мусаев Руслан Шабаевич и др.
  • 2014 год
Возможноститехнологии ПАВ дляпостроенияинтегрированныхчувствительныхэлементов Балышева Ольга Леонидовна2016 год

Возможности технологии ПАВ для построения интегрированных чувствительных элементов

  • Балышева Ольга Леонидовна
  • 2016 год
КоррекциятемпературнойпогрешностиMEMS-датчиковускорения Осипов Андрей Борисович2016 год

Коррекция температурной погрешности MEMS-датчиков ускорения

  • Осипов Андрей Борисович
  • 2016 год