Библиографическое описание:Веселов, Денис Сергеевич. Особенности применения жидкостного травления кремния в технологии изготовления МЭМС-структур / Веселов Денис Сергеевич, Воронов Юрий Александрович. - (Представляет кафедра микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 4. - С. 26-28 : ил. - Библиогр.: с. 28 (6 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Проведено исследование процесса глубокого анизотропного травления кремния в различных растворах органических щелочей. Предложена альтернатива формирования толстых маскирующих слоев для сохранения ориентированности жидкостного травления. Выработаны рекомендации по применению растворов для получения требуемого рельефа в кремниевых подложках в процессе изготовления МЭМС-структур.
