1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2016 г. № 4
Особенностипримененияжидкостного травлениякремния в технологииизготовленияМЭМС-структур Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Особенности применения жидкостного травления кремния в технологии изготовления МЭМС-структур
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Веселов, Денис Сергеевич. Особенности применения жидкостного травления кремния в технологии изготовления МЭМС-структур / Веселов Денис Сергеевич, Воронов Юрий Александрович. - (Представляет кафедра микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 4. - С. 26-28 : ил. - Библиогр.: с. 28 (6 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Проведено исследование процесса глубокого анизотропного травления кремния в различных растворах органических щелочей. Предложена альтернатива формирования толстых маскирующих слоев для сохранения ориентированности жидкостного травления. Выработаны рекомендации по применению растворов для получения требуемого рельефа в кремниевых подложках в процессе изготовления МЭМС-структур.
Год издания: 2016
Авторы: Веселов Денис Сергеевич , Воронов Юрий Александрович
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 4
Номера страниц: 26-28
Количество экземпляров:
  • АБ.1нт: свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

ИзготовлениеМЭМС-структурчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газа сприменениеморганических щелочей Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий АлександровичВанюхин Кирилл Дмитриевич2015 год

Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2015 год
Формообразованиеэлементов МЭМС Пауткин Валерий Евгеньевич2018 год

Формообразование элементов МЭМС

  • Пауткин Валерий Евгеньевич
  • 2018 год

Разработка пористых структур на кремнии

  • Сакун Е. А. и др.
  • 2010 год
Технологияизготовления печатныхплат с высокимразрешением влюбительских условиях Кузьминов А.2017 год

Технология изготовления печатных плат с высоким разрешением в любительских условиях

  • Кузьминов А.
  • 2017 год

Особенности флористического состава и ценотической структуры березовых лесов в экотоне лес-болото…

  • Климова Н. В. и др.
  • 2020 год
Перспективныетехнологииизготовлениялистового проката сультрамелкозернистойструктурой Рудской А. И.Коджаспиров Г. Е.Добаткин С. В.2012 год

Перспективные технологии изготовления листового проката с ультрамелкозернистой структурой

  • Рудской А. И. и др.
  • 2012 год
Контрольно-измерительные МЭМС сиспользованиеммалогабаритныхчувствительныхэлементов измонокристаллического… Сергеева Наталья АлексеевнаЦивинская Татьяна АнатольевнаШахнов Вадим Анатольевич2016 год

Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из…

  • Сергеева Наталья Алексеевна и др.
  • 2016 год
КольцевыеМЭМС-гироскопы наоснове нитридаалюминия Кешаварздивколаи КамранЛукичев Владимир ФедоровичКальнов Владимир Александрович2018 год

Кольцевые МЭМС-гироскопы на основе нитрида алюминия

  • Кешаварздивколаи Камран и др.
  • 2018 год

Показать ещё

Особенностиюго-восточногонаправления впространственнойструктуре московскойагломерации Прохорская Е.2015 год

Особенности юго-восточного направления в пространственной структуре московской агломерации

  • Прохорская Е.
  • 2015 год
Особенностиприменения диаграммыШеффлера дляпрогнозированияструктуры имеханических свойствжаропрочных сталей с… Беломытцев М. Ю.2023 год

Особенности применения диаграммы Шеффлера для прогнозирования структуры и механических свойств…

  • Беломытцев М. Ю.
  • 2023 год
Адгезия вмикромеханическихсистемах Бестугин Александр РоальдовичКиршина Ирина АнатольевнаОводенко Анатолий Аркадьевич2016 год

Адгезия в микромеханических системах

  • Бестугин Александр Роальдович и др.
  • 2016 год
Ориентированнаякристаллизациятолстых пленок Pd—Ruв процессемагнетронногораспыления мишени Иевлев В. М.Максименко А. А.Белоногов Е. К.2015 год

Ориентированная кристаллизация толстых пленок Pd—Ru в процессе магнетронного распыления мишени

  • Иевлев В. М. и др.
  • 2015 год
Новая электроника -2016 2016 год

Новая электроника - 2016

  • 2016 год
16-я Международнаявыставка поэлектронике,компонентам,оборудованию,технологиям"ChipEXPO-2018" 2018 год

16-я Международная выставка по электронике, компонентам, оборудованию, технологиям "ChipEXPO-2018"

  • 2018 год
Влияние диссипациикинетической энергииколебаний нанадежностьфункционированиябалочныхмикрорезонаторов Филонов Олег МихайловичОвчинникова НатальяАнатольевнаОкин Павел Александрович2018 год

Влияние диссипации кинетической энергии колебаний на надежность функционирования балочных…

  • Филонов Олег Михайлович и др.
  • 2018 год
Особенностиформированиямикрофазовойструктурыполиметилметакрилатных органических стеколи ее изменений вусловиях… Деев И. С.Куклин Э. А.2014 год

Особенности формирования микрофазовой структуры полиметилметакрилатных органических стекол и ее…

  • Деев И. С. и др.
  • 2014 год