1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2016 г. № 4
Экономичнаятехнологияформированияметаллических слоевна керамическихпленках длягазочувствительныхдатчиков Самотаев Николай НиколаевичОблов Константин ЮрьевичИванова Анастасия Владимировна2016 год

Экономичная технология формирования металлических слоев на керамических пленках для газочувствительных датчиков
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Экономичная технология формирования металлических слоев на керамических пленках для газочувствительных датчиков / Самотаев Николай Николаевич [и др.]. - (Представляет кафедра микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 4. - С. 36-40 : ил. - Библиогр.: с. 39-40 (13 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Представлен подход, при котором объединяются преимущества керамической МЭМС-технологии и преимущества недорогих технологий для изготовления элементов газочувствительных датчиков. Разработаны проводящие наночастицы серебра, золота и платины размером от 10 до 30 нм, применяемые в струйных и аэрозольных принтерах и позволяющие изготовить проводящие линии нагревательных элементов и электродов датчика. Комбинация струйной печати на керамическую пленку и лазерной резки позволяют изготовить недорогие датчики, работающие в режиме импульсного нагрева.
Год издания: 2016
Авторы: Самотаев Николай Николаевич , Облов Константин Юрьевич , Иванова Анастасия Владимировна , Васильев Алексей Андреевич , Соколов Андрей Владимирович , Ким Виталий Павлович , Ткачев Сергей Викторович , Губин Сергей Павлович , Потапов Глеб Николаевич , Кохтина Юлия Вячеславовна , Низан Антон Вячеславович
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 4
Номера страниц: 36-40
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Формообразованиеэлементов МЭМС Пауткин Валерий Евгеньевич2018 год

Формообразование элементов МЭМС

  • Пауткин Валерий Евгеньевич
  • 2018 год
ИзготовлениеМЭМС-структурчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газа сприменениеморганических щелочей Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий АлександровичВанюхин Кирилл Дмитриевич2015 год

Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2015 год
Долговременнаястабильность ивоспроизводимостьгазочувствительныххарактеристикполупроводниковогодиоксида олова во… Малышев Валерий Валентинович2017 год

Долговременная стабильность и воспроизводимость газочувствительных характеристик…

  • Малышев Валерий Валентинович
  • 2017 год
Реализацияизотермическогорежиматермокаталитическихгазочувствительныхдатчиков Бондарь Олег ГригорьевичБрежнева Екатерина ОлеговнаПоздняков ВячеславВячеславович2016 год

Реализация изотермического режима термокаталитических газочувствительных датчиков

  • Бондарь Олег Григорьевич и др.
  • 2016 год
КоррекциятемпературнойпогрешностиMEMS-датчиковускорения Осипов Андрей Борисович2016 год

Коррекция температурной погрешности MEMS-датчиков ускорения

  • Осипов Андрей Борисович
  • 2016 год
Влияние диссипациикинетической энергииколебаний нанадежностьфункционированиябалочныхмикрорезонаторов Филонов Олег МихайловичОвчинникова НатальяАнатольевнаОкин Павел Александрович2018 год

Влияние диссипации кинетической энергии колебаний на надежность функционирования балочных…

  • Филонов Олег Михайлович и др.
  • 2018 год
Теоретический базис иконструктивно-кинематические схемымикромеханическихинерциальныхавтоколебательныхдатчиков Скалон Анатолий ИвановичТыртычный Алексей АнатольевичАман Елена Эдуардовна2016 год

Теоретический базис и конструктивно-кинематические схемы микромеханических инерциальных…

  • Скалон Анатолий Иванович и др.
  • 2016 год
Применениемикроконтроллера длятемпературнойстабилизацииполупроводниковыхгазочувствительныхдатчиков Бондарь Олег ГригорьевичБрежнева Екатерина ОлеговнаПолякова АнастасияВалентиновна2014 год

Применение микроконтроллера для температурной стабилизации полупроводниковых газочувствительных…

  • Бондарь Олег Григорьевич и др.
  • 2014 год

Показать ещё

Методы температурнойкомпенсацииМЭМС-резонаторов Бестугин Александр РоальдовичБелова Лилия ВладимировнаКиршина Елена Анатольевна2018 год

Методы температурной компенсации МЭМС-резонаторов

  • Бестугин Александр Роальдович и др.
  • 2018 год
Микромощныенагреватели длятермокондуктометрических датчиков Самотаев Николай Николаевич2016 год

Микромощные нагреватели для термокондуктометрических датчиков

  • Самотаев Николай Николаевич
  • 2016 год
Моделированиечувствительногоэлемента датчикадавления на основебиполярноготензотранзистора Басов Михаил ВикторовичПригодский Денис МихайловичХолодков Денис Анатольевич2017 год

Моделирование чувствительного элемента датчика давления на основе биполярного тензотранзистора

  • Басов Михаил Викторович и др.
  • 2017 год
Цифровой датчикпоглощенной зоны наоснове коммерческогоМОП-транзистора Бакеренков Александр СергеевичПодлепецкий Борис ИвановичФелицын ВладиславАлександрович2018 год

Цифровой датчик поглощенной зоны на основе коммерческого МОП-транзистора

  • Бакеренков Александр Сергеевич и др.
  • 2018 год
Физические эффекты вдатчикахвысокоскоростныхмикрочастиц Новомейский Дмитрий НиколаевичТелегин Алексей МихайловичСемкин Николай Данилович2018 год

Физические эффекты в датчиках высокоскоростных микрочастиц

  • Новомейский Дмитрий Николаевич и др.
  • 2018 год
Теплоизолирующиесвойствадиэлектрическихмембранныхконструкцийчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газов Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Теплоизолирующие свойства диэлектрических мембранных конструкций чувствительных элементов…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год
Анализ проблемпроизводствакристалловчувствительныхэлементов измонокристаллическогокремния для сенсорныхсистем Аваева Лина ГригорьевнаСергеева Наталья АлексеевнаМилешин Сергей Андреевич2017 год

Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния…

  • Аваева Лина Григорьевна и др.
  • 2017 год
Датчик магнитногополя на основедифракции света вферромагнитныхпленках Берикашвили Валерий ШалвовичКоровкин АлександрВладимирович2016 год

Датчик магнитного поля на основе дифракции света в ферромагнитных пленках

  • Берикашвили Валерий Шалвович и др.
  • 2016 год