Библиографическое описание:Экономичная технология формирования металлических слоев на керамических пленках для газочувствительных датчиков / Самотаев Николай Николаевич [и др.]. - (Представляет кафедра микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 4. - С. 36-40 : ил. - Библиогр.: с. 39-40 (13 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Представлен подход, при котором объединяются преимущества керамической МЭМС-технологии и преимущества недорогих технологий для изготовления элементов газочувствительных датчиков. Разработаны проводящие наночастицы серебра, золота и платины размером от 10 до 30 нм, применяемые в струйных и аэрозольных принтерах и позволяющие изготовить проводящие линии нагревательных элементов и электродов датчика. Комбинация струйной печати на керамическую пленку и лазерной резки позволяют изготовить недорогие датчики, работающие в режиме импульсного нагрева.
