1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2016 г. № 3
Контрольно-измерительные МЭМС сиспользованиеммалогабаритныхчувствительныхэлементов измонокристаллическогокремния дляаэрокосмическойотрасли Сергеева Наталья АлексеевнаЦивинская Татьяна АнатольевнаШахнов Вадим Анатольевич2016 год

Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из монокристаллического кремния для аэрокосмической отрасли
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (С 322)
Библиографическое описание: Сергеева, Наталья Алексеевна. Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из монокристаллического кремния для аэрокосмической отрасли / Сергеева Наталья Алексеевна, Цивинская Татьяна Анатольевна, Шахнов Вадим Анатольевич. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 3. - С. 32-39 : ил. - Библиогр.: с. 39 (18 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Рассмотрены перспективы разработки и внедрения в аэрокосмическую отрасль контрольно-измерительных средств нового поколения с использованием малогабаритных чувствительных элементов из монокристаллического кремния с системой обработки сигнала отечественной разработки на базе компонентов МЭМС.
Год издания: 2016
Авторы: Сергеева Наталья Алексеевна , Цивинская Татьяна Анатольевна , Шахнов Вадим Анатольевич
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 3
Номера страниц: 32-39
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Анализ проблемпроизводствакристалловчувствительныхэлементов измонокристаллическогокремния для сенсорныхсистем Аваева Лина ГригорьевнаСергеева Наталья АлексеевнаМилешин Сергей Андреевич2017 год

Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния…

  • Аваева Лина Григорьевна и др.
  • 2017 год
ИзготовлениеМЭМС-структурчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газа сприменениеморганических щелочей Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий АлександровичВанюхин Кирилл Дмитриевич2015 год

Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2015 год
Искажение профилярельефных элементовна поверхностимонокристаллическогокремния в результатеих контаминации в… Гавриленко В. П.Кузин А. Ю.Митюхляев В. Б.2013 год

Искажение профиля рельефных элементов на поверхности монокристаллического кремния в результате их…

  • Гавриленко В. П. и др.
  • 2013 год
Многофункциональныйдатчик параметровудара, наклона идвижения на основетрехосевогоакселерометра Васюков Сергей АлександровичОстапенко Дмитрий Геннадиевич2015 год

Многофункциональный датчик параметров удара, наклона и движения на основе трехосевого акселерометра

  • Васюков Сергей Александрович и др.
  • 2015 год
Возможноститехнологии ПАВ дляпостроенияинтегрированныхчувствительныхэлементов Балышева Ольга Леонидовна2016 год

Возможности технологии ПАВ для построения интегрированных чувствительных элементов

  • Балышева Ольга Леонидовна
  • 2016 год
Малогабаритныедатчики давления наоснове кремниевыхполикристаллическихструктур сдиэлектрическойизоляцией Львов Алексей АрленовичКоновалов Роман Станиславович2015 год

Малогабаритные датчики давления на основе кремниевых поликристаллических структур с…

  • Львов Алексей Арленович и др.
  • 2015 год
Верификациярезультатовмоделированияизмерительной цепи содновитковымивихретоковымидатчиками Боровик Сергей ЮрьевичКутейникова Марина МихайловнаПодлипнов Петр Евгеньевич2016 год

Верификация результатов моделирования измерительной цепи с одновитковыми вихретоковыми датчиками

  • Боровик Сергей Юрьевич и др.
  • 2016 год
Критерии выбораматериалов длядатчиков наповерхностныхакустических волнах Балышева Ольга Леонидовна2015 год

Критерии выбора материалов для датчиков на поверхностных акустических волнах

  • Балышева Ольга Леонидовна
  • 2015 год

Показать ещё

Организация входногоконтролячувствительныхэлементовмикромеханическихдатчиков на пластине Якимова Анна ВасильевнаБелогуров АлексейАлександровичБеляев Яков Валерьевич2017 год

Организация входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине

  • Якимова Анна Васильевна и др.
  • 2017 год
Методическиепогрешностимикроэлектромеханических датчиков давленияпри изотропноммоделировании упругихсвойств… Бестугин Александр РоальдовичКиршина Ирина АнатольевнаОкин Павел Александрович2015 год

Методические погрешности микроэлектромеханических датчиков давления при изотропном моделировании…

  • Бестугин Александр Роальдович и др.
  • 2015 год
Эквивалентныепараметрыодновитковоговихретокового датчикав измерительной цепис импульсным питанием Боровик Сергей ЮрьевичКутейникова Марина МихайловнаПодлипнов Петр Евгеньевич2016 год

Эквивалентные параметры одновиткового вихретокового датчика в измерительной цепи с импульсным…

  • Боровик Сергей Юрьевич и др.
  • 2016 год
Влияние температурыМДП-транзисторныхчувствительныхэлементов нахарактеристикидатчиков водорода Подлепецкий Борис ИвановичНикифорова Марина Юрьевна2015 год

Влияние температуры МДП-транзисторных чувствительных элементов на характеристики датчиков водорода

  • Подлепецкий Борис Иванович и др.
  • 2015 год
Формообразованиеэлементов МЭМС Пауткин Валерий Евгеньевич2018 год

Формообразование элементов МЭМС

  • Пауткин Валерий Евгеньевич
  • 2018 год
Влияние параметровчувствительногоэлементамагнитожидкостногодатчика угла наклонана силу подвеса Морозова Дарья ЮрьевнаСайкин Михаил Сергеевич2015 год

Влияние параметров чувствительного элемента магнитожидкостного датчика угла наклона на силу подвеса

  • Морозова Дарья Юрьевна и др.
  • 2015 год
Моделированиечувствительногоэлемента датчикадавления на основебиполярноготензотранзистора Басов Михаил ВикторовичПригодский Денис МихайловичХолодков Денис Анатольевич2017 год

Моделирование чувствительного элемента датчика давления на основе биполярного тензотранзистора

  • Басов Михаил Викторович и др.
  • 2017 год
Измерительныйпреобразовательперемещения Жиров Валерий Георгиевич2015 год

Измерительный преобразователь перемещения

  • Жиров Валерий Георгиевич
  • 2015 год