Библиографическое описание:Сергеева, Наталья Алексеевна. Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из монокристаллического кремния для аэрокосмической отрасли / Сергеева Наталья Алексеевна, Цивинская Татьяна Анатольевна, Шахнов Вадим Анатольевич. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 3. - С. 32-39 : ил. - Библиогр.: с. 39 (18 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Рассмотрены перспективы разработки и внедрения в аэрокосмическую отрасль контрольно-измерительных средств нового поколения с использованием малогабаритных чувствительных элементов из монокристаллического кремния с системой обработки сигнала отечественной разработки на базе компонентов МЭМС.
