Библиографическое описание:Казарян, Акоп Айрапетович. Тонкопленочный датчик давления и температуры / Казарян Акоп Айрапетович. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 3. - С. 50-56 : ил. - Библиогр.: с. 56 (3 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Рассмотрен датчик для одновременного измерения давления и температуры с выделением сигналов давления и температуры из суммарного сигнала. Датчик реализован на базе микроэлектронной технологии методом вакуумного напыления металлов никеля, меди на поверхности полиимидной пленки.
