Библиографическое описание:Окин, Павел Александрович. Повышение чувствительности МЭМ-датчиков давления оптимизацией топологии вторичных измерительных преобразователей / Окин Павел Александрович. - (Санкт-Петербургскому Государственному университету аэрокосмического приборостроения - 75 лет) (Представляет Институт радиотехники, электроники и связи). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 1. - С. 27-30 : ил. - Библиогр.: с. 30 (3 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Предложен подход к проектированию измерительных каналов микроэлектромеханических датчиков с резонансными измерительными преобразователями на основе оптимизации их размещения и угловой ориентации на поверхности анизотропного чувствительного элемента с целью повышения чувствительности. Сформулированы топологические решения, обеспечивающие максимальную чувствительность вторичных преобразователей резонансного типа к измеряемым физическим величинам. Показано, что некоторые из применяемых в настоящее время конструкторских решений не обоснованы теоретически и не дают реальных практических результатов.
