Библиографическое описание:Львов, Алексей Арленович. Малогабаритные датчики давления на основе кремниевых поликристаллических структур с диэлектрической изоляцией / Львов Алексей Арленович, Коновалов Роман Станиславович. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2015. - № 8. - С. 29-32 : ил. - Библиогр.: с. 32 (5 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Рассмотрены конструкции датчиков давления с применением кремниевого чувствительного элемента на основе поликристаллических структур с диэлектрической изоляцией. Приведен расчет разделительной мембраны для защиты чувствительного элемента от агрессивной рабочей среды.
