1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2015 г. № 8
Малогабаритныедатчики давления наоснове кремниевыхполикристаллическихструктур сдиэлектрическойизоляцией Львов Алексей АрленовичКоновалов Роман Станиславович2015 год

Малогабаритные датчики давления на основе кремниевых поликристаллических структур с диэлектрической изоляцией
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Л 891)
Библиографическое описание: Львов, Алексей Арленович. Малогабаритные датчики давления на основе кремниевых поликристаллических структур с диэлектрической изоляцией / Львов Алексей Арленович, Коновалов Роман Станиславович. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2015. - № 8. - С. 29-32 : ил. - Библиогр.: с. 32 (5 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Рассмотрены конструкции датчиков давления с применением кремниевого чувствительного элемента на основе поликристаллических структур с диэлектрической изоляцией. Приведен расчет разделительной мембраны для защиты чувствительного элемента от агрессивной рабочей среды.
Год издания: 2015
Авторы: Львов Алексей Арленович , Коновалов Роман Станиславович
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 8
Номера страниц: 29-32
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Моделированиечувствительногоэлемента датчикадавления на основебиполярноготензотранзистора Басов Михаил ВикторовичПригодский Денис МихайловичХолодков Денис Анатольевич2017 год

Моделирование чувствительного элемента датчика давления на основе биполярного тензотранзистора

  • Басов Михаил Викторович и др.
  • 2017 год
Керамические упругиеэлементы втензопреобразователяхдавления на основеструктур КНС Савченко Евгений ГеннадьевичСветухин Вячеслав ВикторовичСтучебников ВладимирМихайлович2014 год

Керамические упругие элементы в тензопреобразователях давления на основе структур КНС

  • Савченко Евгений Геннадьевич и др.
  • 2014 год
Кремниевыепреобразователидавления с защитой отперегрузок Андреев КонстантинАлександровичВласов Андрей ИгоревичШахнов Вадим Анатольевич2014 год

Кремниевые преобразователи давления с защитой от перегрузок

  • Андреев Константин Александрович и др.
  • 2014 год
Теплоизолирующиесвойствадиэлектрическихмембранныхконструкцийчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газов Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Теплоизолирующие свойства диэлектрических мембранных конструкций чувствительных элементов…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год
Имитационноемоделированиечувствительногоэлемента датчикадавления струнноготипа Мусаев Руслан ШабаевичТрофимов Алексей АнатольевичФролов Михаил Алексеевич2014 год

Имитационное моделирование чувствительного элемента датчика давления струнного типа

  • Мусаев Руслан Шабаевич и др.
  • 2014 год
Анализ проблемпроизводствакристалловчувствительныхэлементов измонокристаллическогокремния для сенсорныхсистем Аваева Лина ГригорьевнаСергеева Наталья АлексеевнаМилешин Сергей Андреевич2017 год

Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния…

  • Аваева Лина Григорьевна и др.
  • 2017 год
Моделированиехарактеристикинтегральных датчиковводорода сМДП-транзисторнымичувствительнымиэлементами Подлепецкий Борис Иванович2014 год

Моделирование характеристик интегральных датчиков водорода с МДП-транзисторными чувствительными…

  • Подлепецкий Борис Иванович
  • 2014 год
Моделированиерадиационнойчувствительностидатчиков водорода сМДП-транзисторнымиэлементами Подлепецкий Борис Иванович2015 год

Моделирование радиационной чувствительности датчиков водорода с МДП-транзисторными элементами

  • Подлепецкий Борис Иванович
  • 2015 год

Показать ещё

Разработка иизготовлениемикроэлектронныхдатчиков давления дляособо жестких условийэксплуатации Баринов Илья НиколаевичВолков Вадим СергеевичЦыпин Борис Вульфович2014 год

Разработка и изготовление микроэлектронных датчиков давления для особо жестких условий эксплуатации

  • Баринов Илья Николаевич и др.
  • 2014 год
Вопросы созданиямикроэлектронныхдатчиков давления,эксплуатирующихся вособо жесткихусловиях Баринов И. Н.Волков В. С.Кудрявцева Д. А.2015 год

Вопросы создания микроэлектронных датчиков давления, эксплуатирующихся в особо жестких условиях

  • Баринов И. Н. и др.
  • 2015 год
Звуковая антеннаярешетка Казарян Акоп Айрапетович2015 год

Звуковая антенная решетка

  • Казарян Акоп Айрапетович
  • 2015 год
Эквивалентныепараметрыодновитковоговихретокового датчикав измерительной цепис импульсным питанием Боровик Сергей ЮрьевичКутейникова Марина МихайловнаПодлипнов Петр Евгеньевич2016 год

Эквивалентные параметры одновиткового вихретокового датчика в измерительной цепи с импульсным…

  • Боровик Сергей Юрьевич и др.
  • 2016 год
ПовышениечувствительностиМЭМ-датчиков давленияоптимизациейтопологии вторичныхизмерительныхпреобразователей Окин Павел Александрович2016 год

Повышение чувствительности МЭМ-датчиков давления оптимизацией топологии вторичных измерительных…

  • Окин Павел Александрович
  • 2016 год
Универсальныйчувствительныйэлемент давления Казарян Акоп Айрапетович2014 год

Универсальный чувствительный элемент давления

  • Казарян Акоп Айрапетович
  • 2014 год
Оптоэлектронныйдатчик водорода наоснове структурыPd/n-InP Именков Альберт НиколаевичГребенщикова ЕленаАлександровнаШутаев Вадим Аркадьевич2017 год

Оптоэлектронный датчик водорода на основе структуры Pd/n-InP

  • Именков Альберт Николаевич и др.
  • 2017 год
Возможноститехнологии ПАВ дляпостроенияинтегрированныхчувствительныхэлементов Балышева Ольга Леонидовна2016 год

Возможности технологии ПАВ для построения интегрированных чувствительных элементов

  • Балышева Ольга Леонидовна
  • 2016 год