Библиографическое описание:Лобанов, Петр Юрьевич. Контроль фазовой анизотропии в процессе производства интерференционных зеркал / Лобанов Петр Юрьевич, Мануйлович Иван Сергеевич, Сидорюк Олег Евгеньевич. - (Конструирование и производство датчиков, приборов и систем). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2015. - № 5. - С. 36-39 : ил. - Библиогр.: с. 39 (8 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Описана система оптического контроля, обеспечивающая внесение на завершающих стадиях технологического процесса расчетных корректировок для компенсации суммарного влияния погрешностей толщин изготовления осажденных слоев на величину индуцируемой фазовой анизотропии. Рассмотрены также вопросы оптимизации измерительной системы и способы уменьшения ее погрешности.
