1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2015 г. № 2
Методическиепогрешностимикроэлектромеханических датчиков давленияпри изотропноммоделировании упругихсвойствмонокристаллическогокремния Бестугин Александр РоальдовичКиршина Ирина АнатольевнаОкин Павел Александрович2015 год

Методические погрешности микроэлектромеханических датчиков давления при изотропном моделировании упругих свойств монокристаллического кремния
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (М 545)
Библиографическое описание: Методические погрешности микроэлектромеханических датчиков давления при изотропном моделировании упругих свойств монокристаллического кремния / А. Р. Бестугин [и др.]. - (Конструирование и технологии создания электронных и лазерных средств). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2015. - № 2. - С. 11-14 : ил. - Библиогр.: с. 14 (6 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Проведено исследование методической погрешности микромеханического датчика давления с вторичным емкостным измерительным преобразователем, возникающей из-за применения в конструкторских и метрологических расчетах изотропной модели упругих свойств монокристаллической мембраны. Получено решение уравнения Жермен-Лагранжа для круглых анизотропной и изотропной мембран, проведено сравнение значений их прогибов для обоих случаев. Проведенный анализ показал, что выходная погрешность измеряемой величины, соответствующей изотропному приближению, достигает 7% от измеряемого давления и вносит существенный вклад в общую погрешность датчика. Показано, что эта погрешность может быть легко скомпенсирована схемотехническими средствами.
Год издания: 2015
Авторы: Бестугин Александр Роальдович , Киршина Ирина Анатольевна , Окин Павел Александрович , Филонов Олег Михайлович
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 2
Номера страниц: 11-14
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

ПовышениечувствительностиМЭМ-датчиков давленияоптимизациейтопологии вторичныхизмерительныхпреобразователей Окин Павел Александрович2016 год

Повышение чувствительности МЭМ-датчиков давления оптимизацией топологии вторичных измерительных…

  • Окин Павел Александрович
  • 2016 год
КоррекциятемпературнойпогрешностиMEMS-датчиковускорения Осипов Андрей Борисович2016 год

Коррекция температурной погрешности MEMS-датчиков ускорения

  • Осипов Андрей Борисович
  • 2016 год
Повышение надежностидатчиков давления дляэксплуатации вжестких условиях Фролов Михаил Алексеевич2015 год

Повышение надежности датчиков давления для эксплуатации в жестких условиях

  • Фролов Михаил Алексеевич
  • 2015 год
Разработка иизготовлениемикроэлектронныхдатчиков давления дляособо жестких условийэксплуатации Баринов Илья НиколаевичВолков Вадим СергеевичЦыпин Борис Вульфович2014 год

Разработка и изготовление микроэлектронных датчиков давления для особо жестких условий эксплуатации

  • Баринов Илья Николаевич и др.
  • 2014 год
Вопросы созданиямикроэлектронныхдатчиков давления,эксплуатирующихся вособо жесткихусловиях Баринов И. Н.Волков В. С.Кудрявцева Д. А.2015 год

Вопросы создания микроэлектронных датчиков давления, эксплуатирующихся в особо жестких условиях

  • Баринов И. Н. и др.
  • 2015 год
К вопросу о точностиопределенияабсолютной высотымобильного узла спомощью сетираспределенныхдатчиков давления Мощевикин А. П.2015 год

К вопросу о точности определения абсолютной высоты мобильного узла с помощью сети распределенных…

  • Мощевикин А. П.
  • 2015 год
Теплоизолирующиесвойствадиэлектрическихмембранныхконструкцийчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газов Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Теплоизолирующие свойства диэлектрических мембранных конструкций чувствительных элементов…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год