Библиографическое описание:Методические погрешности микроэлектромеханических датчиков давления при изотропном моделировании упругих свойств монокристаллического кремния / А. Р. Бестугин [и др.]. - (Конструирование и технологии создания электронных и лазерных средств). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2015. - № 2. - С. 11-14 : ил. - Библиогр.: с. 14 (6 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Проведено исследование методической погрешности микромеханического датчика давления с вторичным емкостным измерительным преобразователем, возникающей из-за применения в конструкторских и метрологических расчетах изотропной модели упругих свойств монокристаллической мембраны. Получено решение уравнения Жермен-Лагранжа для круглых анизотропной и изотропной мембран, проведено сравнение значений их прогибов для обоих случаев. Проведенный анализ показал, что выходная погрешность измеряемой величины, соответствующей изотропному приближению, достигает 7% от измеряемого давления и вносит существенный вклад в общую погрешность датчика. Показано, что эта погрешность может быть легко скомпенсирована схемотехническими средствами.
