Контроль положенияфокального пятнаэлектронного луча сприменениемматематической моделидатчика вторичноготока в плазме Щавлев Валерий ЕвгеньевичТрушников Дмитрий НиколаевичЮжаков Александр Анатольевич2015 год

Контроль положения фокального пятна электронного луча с применением математической модели датчика вторичного тока в плазме
статья из журнала