1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2015 г. № 1
ИзготовлениеМЭМС-структурчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газа сприменениеморганических щелочей Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий АлександровичВанюхин Кирилл Дмитриевич2015 год

Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением органических щелочей
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (В 381)
Библиографическое описание: Веселов, Денис Сергеевич. Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением органических щелочей / Д. С. Веселов, Ю. А. Воронов, К. Д. Ванюхин. - (Кафедре микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ - 50 лет). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2015. - № 1. - С. 45-49 : ил. - Библиогр.: с. 49 (5 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Приведены результаты исследования способов приготовления и процессов анизотропного травления кремния в растворах органических щелочей при формировании чувствительных элементов газовых датчиков методом МЭМС. Получены значения скоростей травления кремния, уровня локальной неравномерности и равномерности поверхности травления по всей площади образцов, стойкости к травлению термического окисла кремния и мембранных пленок. Полученные растворы исследованы на пригодность к проведению глубокого анизотропного травления кремния.
Год издания: 2015
Авторы: Веселов Денис Сергеевич , Воронов Юрий Александрович , Ванюхин Кирилл Дмитриевич
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 1
Номера страниц: 45-49
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Теплоизолирующиесвойствадиэлектрическихмембранныхконструкцийчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газов Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Теплоизолирующие свойства диэлектрических мембранных конструкций чувствительных элементов…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год
Организация входногоконтролячувствительныхэлементовмикромеханическихдатчиков на пластине Якимова Анна ВасильевнаБелогуров АлексейАлександровичБеляев Яков Валерьевич2017 год

Организация входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине

  • Якимова Анна Васильевна и др.
  • 2017 год
Влияние температурыМДП-транзисторныхчувствительныхэлементов нахарактеристикидатчиков водорода Подлепецкий Борис ИвановичНикифорова Марина Юрьевна2015 год

Влияние температуры МДП-транзисторных чувствительных элементов на характеристики датчиков водорода

  • Подлепецкий Борис Иванович и др.
  • 2015 год
Моделированиехарактеристикинтегральных датчиковводорода сМДП-транзисторнымичувствительнымиэлементами Подлепецкий Борис Иванович2014 год

Моделирование характеристик интегральных датчиков водорода с МДП-транзисторными чувствительными…

  • Подлепецкий Борис Иванович
  • 2014 год
Чувствительныеэлементы на основерезонатора на ПАВ длядатчиков температурыс термометрическойлупой Крышталь Раиса ГригорьевнаМедведь Александр ВладимировичПроказин Федор Евгеньевич2014 год

Чувствительные элементы на основе резонатора на ПАВ для датчиков температуры с термометрической…

  • Крышталь Раиса Григорьевна и др.
  • 2014 год
Особенностипримененияжидкостного травлениякремния в технологииизготовленияМЭМС-структур Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий Александрович2016 год

Особенности применения жидкостного травления кремния в технологии изготовления МЭМС-структур

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2016 год
Формообразованиеэлементов МЭМС Пауткин Валерий Евгеньевич2018 год

Формообразование элементов МЭМС

  • Пауткин Валерий Евгеньевич
  • 2018 год
Контрольно-измерительные МЭМС сиспользованиеммалогабаритныхчувствительныхэлементов измонокристаллического… Сергеева Наталья АлексеевнаЦивинская Татьяна АнатольевнаШахнов Вадим Анатольевич2016 год

Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из…

  • Сергеева Наталья Алексеевна и др.
  • 2016 год

Показать ещё

Экономичнаятехнологияформированияметаллических слоевна керамическихпленках длягазочувствительныхдатчиков Самотаев Николай НиколаевичОблов Константин ЮрьевичИванова Анастасия Владимировна2016 год

Экономичная технология формирования металлических слоев на керамических пленках для…

  • Самотаев Николай Николаевич и др.
  • 2016 год
Влияние параметровчувствительногоэлементамагнитожидкостногодатчика угла наклонана силу подвеса Морозова Дарья ЮрьевнаСайкин Михаил Сергеевич2015 год

Влияние параметров чувствительного элемента магнитожидкостного датчика угла наклона на силу подвеса

  • Морозова Дарья Юрьевна и др.
  • 2015 год
Влияние отжига нахарактеристикибиполярныхтранзисторов какчувствительныхэлементов датчиковпоглощенной дозы Бакеренков Александр СергеевичРодин Александр СергеевичПершенков Вячеслав Сергеевич2018 год

Влияние отжига на характеристики биполярных транзисторов как чувствительных элементов датчиков…

  • Бакеренков Александр Сергеевич и др.
  • 2018 год
Критерии выбораматериалов длядатчиков наповерхностныхакустических волнах Балышева Ольга Леонидовна2015 год

Критерии выбора материалов для датчиков на поверхностных акустических волнах

  • Балышева Ольга Леонидовна
  • 2015 год
Малогабаритныедатчики давления наоснове кремниевыхполикристаллическихструктур сдиэлектрическойизоляцией Львов Алексей АрленовичКоновалов Роман Станиславович2015 год

Малогабаритные датчики давления на основе кремниевых поликристаллических структур с…

  • Львов Алексей Арленович и др.
  • 2015 год
Цифровой датчикпоглощенной зоны наоснове коммерческогоМОП-транзистора Бакеренков Александр СергеевичПодлепецкий Борис ИвановичФелицын ВладиславАлександрович2018 год

Цифровой датчик поглощенной зоны на основе коммерческого МОП-транзистора

  • Бакеренков Александр Сергеевич и др.
  • 2018 год
Моделированиерадиационнойчувствительностидатчиков водорода сМДП-транзисторнымиэлементами Подлепецкий Борис Иванович2015 год

Моделирование радиационной чувствительности датчиков водорода с МДП-транзисторными элементами

  • Подлепецкий Борис Иванович
  • 2015 год
Звуковая антеннаярешетка Казарян Акоп Айрапетович2015 год

Звуковая антенная решетка

  • Казарян Акоп Айрапетович
  • 2015 год