Библиографическое описание:Веселов, Денис Сергеевич. Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением органических щелочей / Д. С. Веселов, Ю. А. Воронов, К. Д. Ванюхин. - (Кафедре микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ - 50 лет). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2015. - № 1. - С. 45-49 : ил. - Библиогр.: с. 49 (5 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация:Приведены результаты исследования способов приготовления и процессов анизотропного травления кремния в растворах органических щелочей при формировании чувствительных элементов газовых датчиков методом МЭМС. Получены значения скоростей травления кремния, уровня локальной неравномерности и равномерности поверхности травления по всей площади образцов, стойкости к травлению термического окисла кремния и мембранных пленок. Полученные растворы исследованы на пригодность к проведению глубокого анизотропного травления кремния.
