Z-сенсоры -перспективноенаправление развитияполупроводниковоймикроэлектроники Зотов Владислав ДмитриевичМиронова Полина Владиславовна2014 год

Z-сенсоры - перспективное направление развития полупроводниковой микроэлектроники
статья из журнала