Библиографическое описание:Разработка и изготовление микроэлектронных датчиков давления для особо жестких условий эксплуатации / И. Н. Баринов [и др.]. - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2014. - № 2 : ил. ; Измерения. Контроль. Автоматизация: состояние, проблемы, перспективы. - 2014. - № 2. - С. 49-61. - Библиогр.: с. 60-61 (26 назв.). - (Измерения. Контроль. Автоматизация: состояние, проблемы, перспективы. - 2014. - № 2. - С. 49-61 : ил. ). - ISSN 1992-7185. - журнал в журнале.
Аннотация:Рассмотрены датчики давления на основе структур "кремний-на-диэлектрике", карбида кремния, поликристаллического алмаза для особо жестких условий эксплуатации. Предложены конструктивно-технологические решения для снижения температурной зависимости и устранения дрейфа выходного сигнала благодаря совершенствованию технологии диффузионной сварки и применению технологии беспроводной сборки, обеспечивающей создание высокотемпературных контактов.
