1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2014 г. № 2
Разработка иизготовлениемикроэлектронныхдатчиков давления дляособо жестких условийэксплуатации Баринов Илья НиколаевичВолков Вадим СергеевичЦыпин Борис Вульфович2014 год

Разработка и изготовление микроэлектронных датчиков давления для особо жестких условий эксплуатации
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Разработка и изготовление микроэлектронных датчиков давления для особо жестких условий эксплуатации / И. Н. Баринов [и др.]. - (Измерения. Контроль. Автоматизация: состояние, проблемы, перспективы). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2014. - № 2. - С. 49-61 : ил. - Библиогр.: с. 60-61 (26 назв.). - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Рассмотрены датчики давления на основе структур "кремний-на-диэлектрике", карбида кремния, поликристаллического алмаза для особо жестких условий эксплуатации. Предложены конструктивно-технологические решения для снижения температурной зависимости и устранения дрейфа выходного сигнала благодаря совершенствованию технологии диффузионной сварки и применению технологии беспроводной сборки, обеспечивающей создание высокотемпературных контактов.
Год издания: 2014
Авторы: Баринов Илья Николаевич , Волков Вадим Сергеевич , Цыпин Борис Вульфович , Евдокимов Сергей Павлович
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 2
Номера страниц: 49-61
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Вопросы созданиямикроэлектронныхдатчиков давления,эксплуатирующихся вособо жесткихусловиях Баринов И. Н.Волков В. С.Кудрявцева Д. А.2015 год

Вопросы создания микроэлектронных датчиков давления, эксплуатирующихся в особо жестких условиях

  • Баринов И. Н. и др.
  • 2015 год
Повышение надежностидатчиков давления дляэксплуатации вжестких условиях Фролов Михаил Алексеевич2015 год

Повышение надежности датчиков давления для эксплуатации в жестких условиях

  • Фролов Михаил Алексеевич
  • 2015 год
Тонкопленочный датчикдавления итемпературы Казарян Акоп Айрапетович2016 год

Тонкопленочный датчик давления и температуры

  • Казарян Акоп Айрапетович
  • 2016 год
Малогабаритныедатчики давления наоснове кремниевыхполикристаллическихструктур сдиэлектрическойизоляцией Львов Алексей АрленовичКоновалов Роман Станиславович2015 год

Малогабаритные датчики давления на основе кремниевых поликристаллических структур с…

  • Львов Алексей Арленович и др.
  • 2015 год
Универсальныйосциллограф дляжестких условийэксплуатации Андриянов АлександрВладимировичРябинкин Алексей Александрович2014 год

Универсальный осциллограф для жестких условий эксплуатации

  • Андриянов Александр Владимирович и др.
  • 2014 год
ПовышениечувствительностиМЭМ-датчиков давленияоптимизациейтопологии вторичныхизмерительныхпреобразователей Окин Павел Александрович2016 год

Повышение чувствительности МЭМ-датчиков давления оптимизацией топологии вторичных измерительных…

  • Окин Павел Александрович
  • 2016 год
Выбор параметрованалого-цифровогопреобразованиявыходных сигналоввихревых расходомеров Лурье Михаил СеменовичФролов Александр СергеевичЛурье Ольга Михайловна2015 год

Выбор параметров аналого-цифрового преобразования выходных сигналов вихревых расходомеров

  • Лурье Михаил Семенович и др.
  • 2015 год
ИзготовлениеМЭМС-структурчувствительныхэлементов датчиковконцентрации газа сприменениеморганических щелочей Веселов Денис СергеевичВоронов Юрий АлександровичВанюхин Кирилл Дмитриевич2015 год

Изготовление МЭМС-структур чувствительных элементов датчиков концентрации газа с применением…

  • Веселов Денис Сергеевич и др.
  • 2015 год

Показать ещё

Методическиепогрешностимикроэлектромеханических датчиков давленияпри изотропноммоделировании упругихсвойств… Бестугин Александр РоальдовичКиршина Ирина АнатольевнаОкин Павел Александрович2015 год

Методические погрешности микроэлектромеханических датчиков давления при изотропном моделировании…

  • Бестугин Александр Роальдович и др.
  • 2015 год
Разработкаинтеллектуальныхалгоритмов обработкисигналовтелевизионныхдатчиков современныхсистем наблюдения Зилинберг Андрей ЮрьевичКорнеев Юрий АлексеевичКорнеев Алексей Юрьевич2015 год

Разработка интеллектуальных алгоритмов обработки сигналов телевизионных датчиков современных…

  • Зилинберг Андрей Юрьевич и др.
  • 2015 год
Волоконно-оптическийдатчик аттенюаторноготипа для измеренияразности давлений Рубцов Игорь СергеевичМурашкина Татьяна ИвановнаСеребряков Дмитрий Иванович2015 год

Волоконно-оптический датчик аттенюаторного типа для измерения разности давлений

  • Рубцов Игорь Сергеевич и др.
  • 2015 год
Анализ проблемпроизводствакристалловчувствительныхэлементов измонокристаллическогокремния для сенсорныхсистем Аваева Лина ГригорьевнаСергеева Наталья АлексеевнаМилешин Сергей Андреевич2017 год

Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния…

  • Аваева Лина Григорьевна и др.
  • 2017 год
К вопросу о точностиопределенияабсолютной высотымобильного узла спомощью сетираспределенныхдатчиков давления Мощевикин А. П.2015 год

К вопросу о точности определения абсолютной высоты мобильного узла с помощью сети распределенных…

  • Мощевикин А. П.
  • 2015 год