Библиографическое описание:Очистка технического тетрахлорида кремния с получением продукта оптического качества / А. М. Чаплыгин [и др.]. - (Редкие металлы, полупроводники). - Текст : непосредственный // Цветные металлы. - 2018. - № 5 (905). - С. 45-50 : табл., схемы, граф. - Библиогр.: с. 49-50 (21 назв.). - ISSN 0372-2929.
Аннотация:Разработан процесс очистки технического тетрахлорида кремния от примесей с получением продукта оптического качества. Очистка включает хлорирование трудноудаляемых примесных хлорсиланов с последующей ректификацией тетрахлорида кремния в кварцевой колонне, при этом удаляется и основная группа примесей — соединений металлов и неметаллических веществ. Для разработки процесса очистки SiCl[4] определены условия взаимодействия хлорсиланов, содержащихся в тетрахлориде кремния, с газообразным хлором.