Библиографическое описание:Нанесение многослойных наноструктурных никелевых пленок на кремниевую поверхность пиролитическим методом / Д. Е. Амелина [и др.]. - (Наноструктурированные металлы и материалы). - Текст : непосредственный // Цветные металлы. - 2017. - № 8 (896). - С. 61-65 : ил., схемы, граф., табл. - Библиогр.: с. 64-65 (21 назв.). - ISSN 0372-2929.
Аннотация:Предложен новый метод нанесения слоев металлического никеля на поверхность кремния путем пиролитического разложения органических растворов карбоксилатов никеля. Растворы карбоксилатов никеля получали методом экстракции никеля из водных растворов его сульфата различной концентрации смесью разветвленных монокарбоновых кислот с числом углеродных атомов от 5 до 9. Растворы карбоксилатов наносили на поверхность кремниевой подложки, а затем образец с жидкой пленкой на поверхности подвергали термообработке в инертной атмосфере. Толщину образующихся никелевых пленок можно варьировать от 5 нм до десятков и сотен микрометров, изменяя число наносимых слоев и концентрацию раствора карбоксилата никеля. Преимуществом разработанного метода является возможность нанесения металлических пленок требуемой толщины не только на плоские кремниевые подложки, но и на подложки со сложным рельефом практически любого характера.
