1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Химическая технология»
  5. Выпуск 2017 г. Том 18. № 10
Формирование пористыхструктур на кремнии ссегнетоэлектриком дляэлементовмикроэлектроники имикросистемнойтехники емкостноготипа Семенова О. В.Раилко М. Ю.Патрушева Т. Н.2017 год

Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и микросистемной техники емкостного типа
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (Ф 796)
Библиографическое описание: Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и микросистемной техники емкостного типа / О. В. Семенова [и др.]. - (Технология неорганических веществ и материалов). - Текст : непосредственный // Химическая технология. - 2017. - Т. 18, № 10. - С. 443-449. - Библиогр.: с. 449 (10 назв. ). - ISSN 1684-5811.
Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований процесса формирования гетероструктур на основе пористого кремния с титанатом бария для элементов электроники и микросистемной техники емкостного типа. Изучена зависимость емкости и диэлектрической проницаемости от размерности пористой матрицы, количества наносимых слоев титаната бария, материала обкладок конденсаторной структуры.
Год издания: 2017
Авторы: Семенова О. В. , Раилко М. Ю. , Патрушева Т. Н. , Меркушев Ф. Ф. , Подорожняк С. А. , Юзова В. А. , Корец А. Я. , Холькин А. И.
Источник: Химическая технология
Выпуск: Т. 18, № 10
Номера страниц: 443-449
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Формирование пористыхструктур на кремнии Меркушев Ф. Ф.Раилко М. Ю.Семенова О. В.2014 год

Формирование пористых структур на кремнии

  • Меркушев Ф. Ф. и др.
  • 2014 год
Формирование пористыхструктур на кремнии Семенова О. В.Юзова В. А.Меркушев Ф. Ф.2015 год

Формирование пористых структур на кремнии

  • Семенова О. В. и др.
  • 2015 год
Формированиеструктуры каскадногосолнечного элементана основенанокомпозитной среды Шелованова Г. НПатрушева Т. Н.Авилов Н. Е.2017 год

Формирование структуры каскадного солнечного элемента на основе нанокомпозитной среды

  • Шелованова Г. Н и др.
  • 2017 год

Особенности титанатов и ферритов бария-стронция, синтезированных из расплава на солнечной печи

  • Пайзуллаханов М. С. и др.
  • 2022 год

Защитные диэлектрические пленки и методы их получения

  • Патрушева Т. Н. и др.
  • 2016 год
Влияние соединенийтитана наэлектрофизические ифизико-механическиесвойствакомпозиционныхматериалов на основе… Еремин Е. Н.Кукушина К. Г.Тищенко Н. М.2023 год

Влияние соединений титана на электрофизические и физико-механические свойства композиционных…

  • Еремин Е. Н. и др.
  • 2023 год
Низкотемпературныйсинтез титаната барияв водном растворе Агафонов Александр ВикторовичИванов Константин ВикторовичАлексеева Ольга Владимировна2018 год

Низкотемпературный синтез титаната бария в водном растворе

  • Агафонов Александр Викторович и др.
  • 2018 год

Последовательные элементы вычислительной техники

  • Шестеркин А. Н.
  • 2010 год

Показать ещё

Структурныеисследования порошкаLi-Fe-P-O,полученногоэкстракционно-пиролитическим методом Патрушева Т. Н.Кирик С. Д.Михлин Ю. Л.2018 год

Структурные исследования порошка Li-Fe-P-O, полученного экстракционно-пиролитическим методом

  • Патрушева Т. Н. и др.
  • 2018 год

Элементы комбинационной схемотехники. Ч. 1. Лабораторный практикум по курсу «Основы…

  • Руденко А. В.
  • 2021 год

Развитие технологии получения и исследования пористого кремния

  • Юзова В. А. и др.
  • 2011 год
Получение фотоанодамногослойнойструктуры длясолнечных элементов сприменениемэкстракционно-пиролитического метода Патрушева Т. Н.Попов В.Прабху Г.2013 год

Получение фотоанода многослойной структуры для солнечных элементов с применением экстракционно…

  • Патрушева Т. Н. и др.
  • 2013 год
Оптические свойстваструктур на пористомкремнии с пленкаминанофазного алмаза Семенова О. В.Меркушев Ф. Ф.Раилко М. Ю.2014 год

Оптические свойства структур на пористом кремнии с пленками нанофазного алмаза

  • Семенова О. В. и др.
  • 2014 год
Использованиеэкстракционно-пиролитического метода дляформированиябиоактивных покрытий Медков М. А.Руднев В. С.Яровая Т. П.2015 год

Использование экстракционно-пиролитического метода для формирования биоактивных покрытий

  • Медков М. А. и др.
  • 2015 год

Материалы микросистемной техники. Ч. 1

  • Юзова Вера Александровна
  • 2012 год

Материалы и элементы электронной техники : Расчет режимов термического окисления и диффузии при…

  • Полисан А. А. и др.
  • 2007 год