1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Антенны»
  5. Выпуск 2012 г. № 3
Ионно-лучеваялитография втехнологииполупроводниковойСВЧ-микроэлектроники Перинский В. В.Лясников В. Н.2012 год

Ионно-лучевая литография в технологии полупроводниковой СВЧ-микроэлектроники
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (П 27)
Библиографическое описание: Перинский, В. В. Ионно-лучевая литография в технологии полупроводниковой СВЧ-микроэлектроники / В. В. Перинский, В. Н. Лясников. - (Техника сверхвысоких частот). - Текст : непосредственный // Антенны. - 2012. - № 3 (178). - С. 18-20. - Библиогр.: с. 20 (2 назв.). - ISSN 0320-9601.
Аннотация: Изготовление интегральных схем СВЧ и разработка сложных монолитных схем требует новой технологической базы на основе совместимых между собой лучевых методов локальной обработки материалов.
Год издания: 2012
Авторы: Перинский В. В. , Лясников В. Н.
Источник: Антенны
Выпуск: № 3 (178)
Номера страниц: 18-20
Количество экземпляров:
  • Читальный зал военных наук (Академгородок, 13а, 1 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Ионно-имплантационнаяобработкаметаллических слоев втехнологиимикроприборов СВЧ Перинская И. В.2011 год

Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии микроприборов СВЧ

  • Перинская И. В.
  • 2011 год
Z-сенсоры -перспективноенаправление развитияполупроводниковоймикроэлектроники Зотов Владислав ДмитриевичМиронова Полина Владиславовна2014 год

Z-сенсоры - перспективное направление развития полупроводниковой микроэлектроники

  • Зотов Владислав Дмитриевич и др.
  • 2014 год
МетодикапроектированияСВЧ-генераторов,управляемыхнапряжением, впрограмме MicrowaveOffice Романюк В. А.Яр Зар Хтун2015 год

Методика проектирования СВЧ-генераторов, управляемых напряжением, в программе Microwave Office

  • Романюк В. А. и др.
  • 2015 год

Нанотехнологии в микроэлектронике

  • Агеев Олег Алексеевич и др.
  • 2019 год
ВЧ-СВЧ-индикаторрадиоизлучений вмультиметре Нечаев И.2024 год

ВЧ-СВЧ-индикатор радиоизлучений в мультиметре

  • Нечаев И.
  • 2024 год
Наногетероструктуры всверхвысокочастотнойполупроводниковойэлектронике Мокеров В. Г.Медведев Б. К.Игнатьев А. С.2010 год

Наногетероструктуры в сверхвысокочастотной полупроводниковой электронике

  • Мокеров В. Г. и др.
  • 2010 год
Микроэлектроника вприборостроении Першенков Вячеслав СергеевичПодлепецкий Борис ИвановичБочаров Юрий Иванович2015 год

Микроэлектроника в приборостроении

  • Першенков Вячеслав Сергеевич и др.
  • 2015 год

Микроэлектроника СВЧ

  • Смоленцев Николай Иванович
  • 2025 год

Показать ещё

Использованиеплазменной и лучевойтехнологий дляобработки узловгироприборов Фомичев А. М.Юльметова О. С.Щербак А. Г.2014 год

Использование плазменной и лучевой технологий для обработки узлов гироприборов

  • Фомичев А. М. и др.
  • 2014 год
Исследованиеповерхностных слоевтитанового сплава ВТ6 с нанесеннойпленкой углерода приионно-лучевомперемешивании Созонова Н. М.Воробьев В. Л.Гильмутдинов Ф. З.2021 год

Исследование поверхностных слоев титанового сплава ВТ 6 с нанесенной пленкой углерода при ионно…

  • Созонова Н. М. и др.
  • 2021 год
Технология,конструкции и методымоделированиякремниевыхинтегральныхмикросхем. Ч. 1.Технологическиепроцессы… Королев Михаил АлександровичКрупкина Татьяна ЮрьевнаРевелева Марина Алексеевна2010 год

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч. 1….

  • Королев Михаил Александрович и др.
  • 2010 год
ПроектированиегерметичныхмногокристальныхСВЧ-модулей потехнологии LTCC иисследование ихтепловых свойств Тушнов П. А.Невокшенов А. В.Казаков А. В.2019 год

Проектирование герметичных многокристальных СВЧ-модулей по технологии LTCC и исследование их…

  • Тушнов П. А. и др.
  • 2019 год
Моделированиераспределенияионно-имплантированных атомов вметаллических мишенях Белова И. М.Овчинников В. В.Лукьяненко Е. В.2016 год

Моделирование распределения ионно-имплантированных атомов в металлических мишенях

  • Белова И. М. и др.
  • 2016 год

СВЧ-электроника в системах радиолокации и связи. Кн. 2

  • Белоус Анатолий Иванович и др.
  • 2016 год

СВЧ-электроника в системах радиолокации и связи. Кн. 1

  • Белоус Анатолий Иванович и др.
  • 2016 год
Особенностиразработки процессавыращивания структурInAlN/GaN методомгазофазной эпитаксииизметаллорганических… Буробин В. А.Каргин Н. И.Коновалов А. М.2014 год

Особенности разработки процесса выращивания структур InAlN/GaN методом газофазной эпитаксии из…

  • Буробин В. А. и др.
  • 2014 год