1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Антенны»
  5. Выпуск 2011 г. № 11
Ионно-имплантационнаяобработкаметаллических слоев втехнологиимикроприборов СВЧ Перинская И. В.2011 год

Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии микроприборов СВЧ
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (П 27)
Библиографическое описание: Перинская, И. В. Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии микроприборов СВЧ / И. В. Перинская. - Текст : непосредственный // Антенны. - 2011. - № 11 (174). - С. 44-50 : 5 рис., 4 табл. - Библиогр.: с. 49 (5 назв.). - ISSN 0320-9601.
Аннотация: Разработана новая технология наноразмерной ионно-лучевой пассивации металлов, используемых в электротехнологии изготовления СВЧ-интегральных схем. Технология позволяет формировать рациональную структуру с наноразмерными поверхностями составляющими, обеспечивает коррозионную защиту в сочетании с неухудшением прочности, износостойкости, СВЧ- и технологических свойств металлов.
Год издания: 2011
Авторы: Перинская И. В.
Источник: Антенны
Выпуск: № 11 (174)
Номера страниц: 44-50
Количество экземпляров:
  • Читальный зал военных наук (Академгородок, 13а, 1 этаж): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Ионно-лучеваялитография втехнологииполупроводниковойСВЧ-микроэлектроники Перинский В. В.Лясников В. Н.2012 год

Ионно-лучевая литография в технологии полупроводниковой СВЧ-микроэлектроники

  • Перинский В. В. и др.
  • 2012 год
МетодикапроектированияСВЧ-генераторов,управляемыхнапряжением, впрограмме MicrowaveOffice Романюк В. А.Яр Зар Хтун2015 год

Методика проектирования СВЧ-генераторов, управляемых напряжением, в программе Microwave Office

  • Романюк В. А. и др.
  • 2015 год
Пути повышенияточности дискретныхГИС- иМИС-фазовращателей Гудков А. Г.2013 год

Пути повышения точности дискретных ГИС- и МИС-фазовращателей

  • Гудков А. Г.
  • 2013 год
Моделированиераспределенияионно-имплантированных атомов вметаллических мишенях Белова И. М.Овчинников В. В.Лукьяненко Е. В.2016 год

Моделирование распределения ионно-имплантированных атомов в металлических мишенях

  • Белова И. М. и др.
  • 2016 год
Широкополосныйтвердотельныймногоразрядныйаттенюатормиллиметровогодиапазона Ли А. И.Толстолуцкий С. И.Трухов Д. А.2012 год

Широкополосный твердотельный многоразрядный аттенюатор миллиметрового диапазона

  • Ли А. И. и др.
  • 2012 год
ВЧ-СВЧ-индикаторрадиоизлучений вмультиметре Нечаев И.2024 год

ВЧ-СВЧ-индикатор радиоизлучений в мультиметре

  • Нечаев И.
  • 2024 год
ПроектированиегерметичныхмногокристальныхСВЧ-модулей потехнологии LTCC иисследование ихтепловых свойств Тушнов П. А.Невокшенов А. В.Казаков А. В.2019 год

Проектирование герметичных многокристальных СВЧ-модулей по технологии LTCC и исследование их…

  • Тушнов П. А. и др.
  • 2019 год
Оптоэлектронныеустройстваформирования сигналовфазированных антенныхрешеток на основепериодическихструктур Ушаков Н. М.Быков Р. В.2011 год

Оптоэлектронные устройства формирования сигналов фазированных антенных решеток на основе…

  • Ушаков Н. М. и др.
  • 2011 год

Показать ещё

Износостойкостьдеталей из стали30ХГСН2А,подвергнутых ионнойимплантации послеультразвуковойобработки Боровин Юрий МихайловичОвчинников Виктор ВасильевичЛукьяненко Елена Владимировна2014 год

Износостойкость деталей из стали 30ХГСН2А, подвергнутых ионной имплантации после ультразвуковой…

  • Боровин Юрий Михайлович и др.
  • 2014 год
Математическоемоделирование впроектировании итехнологии фильтровСВЧ на коаксиальныхкерамическихрезонаторах Светлаков Ю. А.Седаков А. Ю.Ивойлова М. М.2016 год

Математическое моделирование в проектировании и технологии фильтров СВЧ на коаксиальных…

  • Светлаков Ю. А. и др.
  • 2016 год
Исследованиеповерхностных слоевтитанового сплава ВТ6 с нанесеннойпленкой углерода приионно-лучевомперемешивании Созонова Н. М.Воробьев В. Л.Гильмутдинов Ф. З.2021 год

Исследование поверхностных слоев титанового сплава ВТ 6 с нанесенной пленкой углерода при ионно…

  • Созонова Н. М. и др.
  • 2021 год
Комплекснаядеформационно-ионно-плазменная обработкастали 08X18Н10Т-Ш Силина О. В.Босяков М. Н.Каменских О. А.2023 год

Комплексная деформационно-ионно-плазменная обработка стали 08X18Н10Т-Ш

  • Силина О. В. и др.
  • 2023 год
Использованиеплазменной и лучевойтехнологий дляобработки узловгироприборов Фомичев А. М.Юльметова О. С.Щербак А. Г.2014 год

Использование плазменной и лучевой технологий для обработки узлов гироприборов

  • Фомичев А. М. и др.
  • 2014 год
Управление тепловымиисточниками в ближнейзоне коаксиальнойштыревой антенны дляСВЧ-гипертермиибиологических тканей Комаров В. В.Новрузов И. И.2011 год

Управление тепловыми источниками в ближней зоне коаксиальной штыревой антенны для СВЧ-гипертермии…

  • Комаров В. В. и др.
  • 2011 год
Решениепараметрическойзадачи дляэлектродинамической итеплофизическоймоделей поведенияискусственныхдиэлектриков… Антонов И. Н.Бозриков А. В.Воронков О. В.2015 год

Решение параметрической задачи для электродинамической и теплофизической моделей поведения…

  • Антонов И. Н. и др.
  • 2015 год
Возбуждениеповерхностныхэлектромагнитных волнв пластине изметаматериала наметаллическойподложке Исаева О. В.Кашин А. В.Шорохова Е. А.2016 год

Возбуждение поверхностных электромагнитных волн в пластине из метаматериала на металлической…

  • Исаева О. В. и др.
  • 2016 год