Библиографическое описание:Efremov, A. M. Plasma parameters and composition in CF[4]/O[2]/Ar gas mixture / A. M. Efremov, = Параметры и состав плазмы в смеси CF[4]/O[2]/Ar. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2017. - Т. 60, вып. 1. -С. 50-55 : 2 рис. - Библиогр.: с. 54-55 (18 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация:Изучено влияние соотношения концентраций O[2]/Ar в смеси CF[4]/O[2]/Ar на параметры плазмы и потоки активных частиц, определяющие кинетику сухого травления в данной системе. Исследования проводились с использованием совокупности методов диагностики и моделирования плазмы.
Авторский коллектив:Ивановский государственный химико-технологический университет (Иваново); Department of Control and instrumentation Engineering (Korea)
