1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология»
  5. Выпуск 2017 г. Том 60. № 1
Plasma parameters andcomposition inCF[4]/O[2]/Ar gasmixture Efremov A. M.Kwon Kwang-Ho2017 год

Plasma parameters and composition in CF[4]/O[2]/Ar gas mixture
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (24.5  E 27)
Библиографическое описание: Efremov, A. M. Plasma parameters and composition in CF[4]/O[2]/Ar gas mixture / A. M. Efremov, = Параметры и состав плазмы в смеси CF[4]/O[2]/Ar. - (Химия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2017. - Т. 60, вып. 1. -С. 50-55 : 2 рис. - Библиогр.: с. 54-55 (18 назв.). - ISSN 0579-2991.
Аннотация: Изучено влияние соотношения концентраций O[2]/Ar в смеси CF[4]/O[2]/Ar на параметры плазмы и потоки активных частиц, определяющие кинетику сухого травления в данной системе. Исследования проводились с использованием совокупности методов диагностики и моделирования плазмы.
Год издания: 2017
Авторы: Efremov A. M., Kwon Kwang-Ho (aut.)
Авторский коллектив: Ивановский государственный химико-технологический университет (Иваново); Department of Control and instrumentation Engineering (Korea)
Источник: Известия вузов. Химия и химическая технология
Выпуск: Т. 60, вып. 1
Держатель оригинала документа: НБ СФУ
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Plasma parameters andactive specieskinetics inCF[4]+C[4]F[8]+Ar gasmixture Efremov А. М.Мurin D. B.Kwang Ho Кwon2018 год

Plasma parameters and active species kinetics in CF[4]+C[4]F[8]+Ar gas mixture

  • Efremov А. М. и др.
  • 2018 год
Plasma parameters andSiO[2] etchingkinetics in C[4]F[8]+ Ar + O[2] gasmixture Efremov A. M.Betelin V. B.Kwang-Ho Kwon2020 год

Plasma parameters and SiO[2] etching kinetics in C[4]F[8] + Ar + O[2] gas mixture

  • Efremov A. M. и др.
  • 2020 год
Plasma parameters,densities of activespecies and etchingkinetics inC[4]F[8]+Ar gasmixture Efremov A. M.Murin D. B.Kwon K. H.2019 год

Plasma parameters, densities of active species and etching kinetics in C[4]F[8]+Ar gas mixture

  • Efremov A. M. и др.
  • 2019 год
Сравнительноеисследованиепараметров и составаплазмы в смесяхCF[4], CI[2] и HBr +Ar Ефремов Александр МихайловичKwon К. Н.Шабадарова Дария Александровна2016 год

Сравнительное исследование параметров и состава плазмы в смесях CF[4], CI[2] и HBr + Ar

  • Ефремов Александр Михайлович и др.
  • 2016 год
Metal influence inporphyrine structureon kinetic ofelectrodeposition andmorphology ofhydroxyphenylporphyrins… Lutovac M. V.Chulovskaya S. A.Kuzmin S. M.2016 год

Metal influence in porphyrine structure on kinetic of electrodeposition and morphology of…

  • Lutovac M. V. и др.
  • 2016 год
Photodissociationdynamics of randomlyoriented molecularensembles bytime-resolvedelektron diffraction Schafer LotharIschenko A. A.Zhabanov Y. A.2016 год

Photodissociation dynamics of randomly oriented molecular ensembles by time-resolved elektron…

  • Schafer Lothar и др.
  • 2016 год
Solid-phase synthesisof calcium ferritewith brownmilleritestructure Zhuchko E. S.Rumyantsev R. N.Il'in A. A.2016 год

Solid-phase synthesis of calcium ferrite with brownmillerite structure

  • Zhuchko E. S. и др.
  • 2016 год
Physico-chemicalproperties of dccurrent dischargeplasma with liquidcathode Choukourov A. L.Manukyan A. S.Shutov D. A.2016 год

Physico-chemical properties of dc current discharge plasma with liquid cathode

  • Choukourov A. L. и др.
  • 2016 год

Показать ещё

Some thermodynamiccharacteristics of"thiomebicar"(2,4,6,8-tetramethyldithioglycoluril) Ivanov E. V.Krasnov A. V.Petrovskaya S. G.2016 год

Some thermodynamic characteristics of "thiomebicar" (2,4,6,8-tetramethyldithioglycoluril)

  • Ivanov E. V. и др.
  • 2016 год
Study ofelectrochemicalintercalation ofgraphite in solutionsof HNO[3] with methodofchronovoltamperometry Yakovlev А. V.Finaenov A. I.Yakovleva E. V.2017 год

Study of electrochemical intercalation of graphite in solutions of HNO[3] with method of…

  • Yakovlev А. V. и др.
  • 2017 год
Theoretical study onhydrogenation ofcarbon monoxide tomethanol onCO(III)surface Dien Thi Thu HuongPham Thi Thu HienLe Minh Cam2016 год

Theoretical study on hydrogenation of carbon monoxide to methanol on CO(III)surface

  • Dien Thi Thu Huong и др.
  • 2016 год
Влияние строениямолекулвысокооктановыхкомпонентов бензинови антиокислительныхприсадок к топливамна… Полетаева Ольга ЮрьевнаМовсумзаде Эльдар МирсамедовичКолчина Галина Юрьевна2016 год

Влияние строения молекул высокооктановых компонентов бензинов и антиокислительных присадок к…

  • Полетаева Ольга Юрьевна и др.
  • 2016 год
Синтез и строениерегиоизомерных3(4)-гидрокси-2(5)-оксоилиденпирролинов Горбунова Анна ВладимировнаМуковоз Петр ПетровичКозьминых Владислав Олегович2016 год

Синтез и строение региоизомерных 3(4)-гидрокси-2(5)-оксоилиденпирролинов

  • Горбунова Анна Владимировна и др.
  • 2016 год
Оксифторид молибдена- материалположительногоэлектрода Li-ионногоаккумулятора Опра Денис ПавловичГнеденков Сергей ВасильевичЛапташ Наталья Михайловна2016 год

Оксифторид молибдена - материал положительного электрода Li-ионного аккумулятора

  • Опра Денис Павлович и др.
  • 2016 год
Кинетика адсорбцииформальдегида изводных растворовсинтетическимицеолитами вприсутствии фосфорнойкислоты Овчинников Григорий АндреевичГорских Валентина АндреевнаТухватшин Вадим Салаватович2016 год

Кинетика адсорбции формальдегида из водных растворов синтетическими цеолитами в присутствии…

  • Овчинников Григорий Андреевич и др.
  • 2016 год
Некоторыекинетическиепараметры процессарадикальнойполимеризациибутилового эфираметакриловой кислотыв ионной… Ибрагимова Минавер Джафар гызыВелиева Фируза Мевсум кызыПашаева Зиярет Наги кызы2016 год

Некоторые кинетические параметры процесса радикальной полимеризации бутилового эфира метакриловой…

  • Ибрагимова Минавер Джафар гызы и др.
  • 2016 год